Calentador por infrarrojos para horno en sala limpia

Mon, 27 Jul 2026 16:12:57 +0800

Los hornos de convección convencionales son, en esencia, simples cajas llenas de aire caliente. En una sala limpia para semiconductores, eso es un verdadero desastre. ¿Por qué? Porque ese calor no se queda quieto; se infiltra en las paredes del equipo, haciendo que el chasis se caliente tanto que pueda quemar a la persona que lo utiliza. Además, el sistema de climatización tiene que luchar incansablemente para mantener la habitación respirable.

Una mejor forma de transferir el calor Nosotros hacemos las cosas de manera diferente. En lugar de calentar el aire, utilizamos lámparas de infrarrojos de onda corta. Piénselo como una linterna: el calor se mueve en línea recta, pasando por encima del aire y de las paredes del horno, y llega directamente al objeto a calentar. La energía va justo donde debe ir. Como el calor no se dispersa por toda la habitación, la carcasa del equipo no se convierte en un enorme radiador.

Elemento calefactor del horno LPCVD

Sun, 21 Jun 2026 01:58:15 +0800

En el lugar donde se lleva a cabo el proceso de LPCVD, uno sabe cuán rápido una ejecución correcta puede convertirse en un desastre. Un cambio de 0,3°C en las condiciones térmicas del horno LPCVD es suficiente para que los parámetros de espesor críticos no se mantengan dentro de los límites permitidos. Cuando el elemento calefactor deja de funcionar adecuadamente, la uniformidad térmica se ve afectada, lo que a su vez afecta a los procesos de dopaje y deposición. La litografía también se ve afectada. Los tiempos necesarios para el proceso de curado del fotorrésist se acortan, el control de la precisión del grosor de la capa fotográfica se vuelve más estricto, y la selectividad durante el proceso de grabado comienza a variar.

Horno on The Warm IR Heater Shop

Calentador por infrarrojos para horno en sala limpia

Elemento calefactor del horno LPCVD