Trocknen on The Warm IR Heater Shop

Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafers

Tue, 21 Jul 2026 02:03:37 +0800

Sichere Aufbewahrung der MEMS-Wafer während des Trocknungsprozesses
Seien wir ehrlich: Eine Infrarotlampe mit hoher Intensität direkt neben brennbaren Lösungsmitteln zu platzieren, bedeutet Katastrophe. Wenn man MEMS-Sensorwafer nach einer chemischen Reinigung trocknen möchte, braucht man zwar Wärme – aber auf keinen Fall ein Feuer in der Reinraumumgebung.

Deshalb bauen wir die Lampen nicht einfach nur her – wir versehen sie mit einer speziellen Schutzschicht, damit die flüchtigen Dämpfe von den aktiven Komponenten ferngehalten werden.

Umgang mit den Dämpfen
In einem Raum, in dem chemische Reinigungsprozesse stattfinden, ist die Luft sehr dicht – voller Lösungsmitteldämpfe, die leicht zum Entzünden oder Überhitzen führen können. Eine gewöhnliche Lampe hätte keine Chance gegen diese Bedingungen.

Energi Audit für die Fabriktrocknung

Fri, 17 Jul 2026 01:44:57 +0800

Sicherstellen, dass Ihre Heizelemente nicht explodieren
Wenn wir Heizelemente für Trocknungsanlagen versenden, lassen wir nichts dem Zufall überlassen. Jedes einzelne Element wird vor dem Verpacken auf seine Spannungsfestigkeit sowie seinen Isolierwiderstand geprüft.
Warum? Weil in einer Produktionsstätte ein kleines Leck oder ein defekter Isolator keine bloße „Störung“ darstellen – sie können die gesamte Anlage lahmlegen. Im schlimmsten Fall kommt es sogar zu einem Kurzschluss. Das ist ein Albtraum, den niemand während seiner Schicht erleben möchte.

Die eigentliche Prüfung
Wir führen eine Hochspannungsprüfung durch, um herauszufinden, ob Stromlecks auftreten. Wir prüfen nicht nur, ob das Element „bestanden hat“. Vielmehr stellen wir sicher, dass die Quarzkapsel sowie die Endabdeckungen tatsächlich in der Lage sind, hohe Spannungen auszuhalten, ohne zu versagen.
Fällt der Isolierwiderstand auch nur geringfügig unter die vorgegebenen Werte, gilt das Element als unschädlich. Es wird entsorgt. Das ist die einzige Möglichkeit, sicherzustellen, dass es zu keiner Störung kommt, sobald die Elemente in die Steuerpulte eingebaut werden.

Infrarotheizer zur Trocknung von Wafern

Thu, 18 Jun 2026 00:47:42 +0800

Im Bereich der Lithografie kann eine Abweichung von 0,3 °C während des Trocknens der Wafer oder beim Weichbacken des Fotorezeptors dazu führen, dass kritische Abmessungen um mehrere Nanometer verändert werden. Diese Abweichungen führen wiederum zu einem Rückgang der Ausbeute in der Produktion. Wir haben unsere Infrarotheizer für das Trocknen der Wafer so konstruiert, dass diese Unregelmäßigkeiten beseitigt werden. Dadurch wird eine zuverlässige Temperaturkontrolle gewährleistet – auch in Bereichen, in denen der Prozess besonders empfindlich ist. Zudem hängt die Betriebszeit nicht von den Zyklusfrequenzen des Ofens ab.