Temperatur on The Warm IR Heater Shop

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Fri, 10 Jul 2026 01:30:32 +0800

Warum goldbeschichtete Reflektoren für Ihre Siliziumwafers wirklich wichtig sind
In der Welt der Halbleiterverarbeitung ist der Wärmeverlust ein echtes Problem – er verringert die Produktivität. Wenn man versucht, eine präzise Temperaturkontrolle auf der Siliziumwafer zu erreichen, möchte man auf keinen Fall, dass die Infrarotenergie in das Gehäuse des Geräts entweicht. Das wäre nämlich Energieverschwendung.

Wir verwenden goldbeschichtete Reflektoren, um dies zu verhindern. Sie sorgen dafür, dass die Energie wieder dorthin gebracht wird, wo sie hingehört – direkt auf das Substrat.

Hochpräziser Temperaturheizer

Thu, 02 Jul 2026 02:40:47 +0800

Im Bereich der Lithografie lernt man schnell, dass eine Abweichung von 1°C während des Vorheizens des Photoresists nicht nur dazu führt, dass der Prozess gestört wird – sondern auch zu Abweichungen in der Breite der Linien, was dazu führen kann, dass die gesamte Produktion ruiniert wird. Wenn beim Trocknen der Wafer noch eine dünne Schicht aus Oberflächenspannung verbleibt, werden Partikel eingeschlossen – und damit ist die Produktionsqualität dahin. Die thermische Steuerung ist daher keine Nebenfunktion – sie ist ein integraler Bestandteil des Prozesses.