Gehäusefertigung aus Edelstahl für Heizung

Wed, 03 Jun 2026 01:09:52 +0800

Out on the fab floor hängt die Leistung des Photoresist-Backens von Nanometern und Minuten ab. Eine Drift von 2°C während des Softbake- oder Hardbake-Prozesses kann kritische Abmessungen verschieben, eine Charge unbrauchbar machen und Stunden verbrennen, die nicht zurückzugewinnen sind. Unsere Gehäuse aus Edelstahl-Heizkörpern wurden entwickelt, um diese Variabilität auszuschließen.

Technisch relevante Aspekte
Das Gehäuse ist aus 316L-Edelstahl gefertigt – gewählt, weil es sich im Vakuum- und Reinraumbereich bewährt hat und der korrosiven Chemie standhält, die in diesen Anlagen verwendet wird. Integrierte Heizungen sorgen für eine thermische Uniformität auf Wafer-Ebene von ±0,1°C, und die Reproduzierbarkeit ist so eng, dass sich die Photoresist-Profile Chargen für Charge konstant halten lassen.
Wir kontrollieren Oberflächenbeschaffenheiten und Nähte so, dass Partikelbildung nahezu ausgeschlossen wird, was den Ertrag in Reinraumklassen 1–100 schützt. Die Steuerung hält die Temperatur rund um die Uhr stabil, sodass der Betrieb ohne unerwartete Ausfallzeiten möglich ist.

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