Reflektor on The Warm IR Heater Shop

Reflektor für Wafer Aushärtungslampe

Fri, 17 Jul 2026 01:38:35 +0800

Umgang mit Defekten der Infrarotlampen bei der Trocknung von Wafern
Wenn man eine Produktionslinie mit hohem Aufwand betreibt, werden die Infrarotlampen bis an ihre Grenzen gefordert. Es handelt sich dabei um eine Umgebung mit hohem Stress. Wenn eine Lampe schließlich versagt – oder noch schlimmer: zerbricht – ist die Stillstandzeit nur die halbe des Problems.

Das eigentliche Albtraum-Szenario ist die Kontamination. Stellen Sie sich vor, Glasscherben oder Wolframfäden fallen auf Ihre Wafern. Ein defekter Lampenkolben kann innerhalb von Sekunden ganze Chargen zerstören. Das ist eine kostspielige Katastrophe, mit der man lieber nicht konfrontiert werden möchte.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Mon, 13 Jul 2026 16:34:50 +0800

Wie man Infrarot-Heizung einsetzen kann, ohne die Sauberkeit des Reinraums zu gefährden
Wenn man in einem Raum der Klasse 100 arbeitet, stellt die Wärme ein echtes Problem dar. Es geht nicht nur darum, die richtige Temperatur zu erreichen – vielmehr muss die Luft weiterhin äußerst sauber bleiben.

Das Problem ist, dass herkömmliche Infrarotlampen oft „schmutzig“ sind. Sie geben Gase ab oder es fallen kleine, unsichtbare Teilchen vom Reflektor ab. Wenn eines dieser Teilchen auf eine Wafer oder einen optischen Bauteil fällt, entsteht ein riesiges Problem.

Infrarotlampe mit Goldreflektor

Mon, 08 Jun 2026 02:24:50 +0800

Auf dem Fertigungsboden führt eine Drift von 0,1°C während des Photoresist-Backens zu erheblichen Ausschussmengen – die Linienbreitenkontrolle gerät aus dem Ruder, Rückstände verbleiben und die Ausbeute sinkt. Wir haben die Infrarotlampe mit einem Goldreflektor ausgestattet, um diese Variabilität auszuschließen, sodass Sie eine stabile und reproduzierbare Wärme genau dort erhalten, wo Lithographie und Aushärtung sie am dringendsten benötigen.

Infrarot-Heizung: Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit sicherstellen

Die Konstruktion kombiniert eine kurzwellige Infrarotlampe mit einem goldbeschichteten Reflektor, der die Energie in eine enge thermische Zone bündelt. Dadurch erreichen Sie eine Wafer-gleichmäßigkeit von ±0,1°C über die Zielfläche und eine submillimetergenaue Kontrolle der thermischen Front. Die Wiederholbarkeit von Lauf zu Lauf bleibt konstant, sodass Soft Bake- und Hard Bake-Profile exakt den Vorgaben entsprechen. Dabei geht es nicht nur um die Spitzentemperatur, sondern um eine präzise Steuerung des thermischen Budgets, Zyklus für Zyklus.