Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Fri, 10 Jul 2026 01:30:32 +0800

Warum goldbeschichtete Reflektoren für Ihre Siliziumwafers wirklich wichtig sind
In der Welt der Halbleiterverarbeitung ist der Wärmeverlust ein echtes Problem – er verringert die Produktivität. Wenn man versucht, eine präzise Temperaturkontrolle auf der Siliziumwafer zu erreichen, möchte man auf keinen Fall, dass die Infrarotenergie in das Gehäuse des Geräts entweicht. Das wäre nämlich Energieverschwendung.

Wir verwenden goldbeschichtete Reflektoren, um dies zu verhindern. Sie sorgen dafür, dass die Energie wieder dorthin gebracht wird, wo sie hingehört – direkt auf das Substrat.

Infrarot Steckdose für Wafer Werkzeug

Sat, 20 Jun 2026 01:44:32 +0800

Auf der Fertigungshallenbühne kann es sehr schnell zu Problemen kommen – schon eine Abweichung von einem halben Grad in der Backtemperatur führt dazu, dass das Profil des Fotolacks nicht mehr den Vorgaben entspricht. Dadurch muss die Produktion gestoppt werden. Wir haben den Anschluss für die Infrarotlampe so konzipiert, dass das thermische Verhalten stets konstant bleibt – Schicht für Schicht.

Was wirklich wichtig ist:
Der Anschluss kombiniert Kurzwellen-Infrarotstrahler mit einer Quarzhalogenlampe sowie einem keramischen Gehäuse mit geringer Gasemission. Dabei bleiben die Temperaturen auf dem Wafer im Bereich von ±0,1 °C konstant, und die Genauigkeit der Einstellungen liegt bei ±0,05 °C. Die verwendeten Materialien sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Zudem wird beim Betrieb kein Staub freigesetzt. Die Stromversorgung erfolgt über einen Hochleistungsanschluss, der für 24/7-Betrieb ausgelegt ist. Dadurch bleibt das thermische Verhalten von Wafer zu Wafer konstant.

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Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Infrarot Steckdose für Wafer Werkzeug