Präziser IR Sensor für Wafern

Thu, 09 Jul 2026 15:08:48 +0800

Einführung
Stellen Sie sich folgendes vor: Eine Waferbearbeitungsanlage, in der die Luft mit brennbaren Reinigungsmitteln erfüllt ist. In einer solchen Umgebung geben herkömmliche Heizelemente fast sofort auf.
Wir haben unsere Infrarotheizlampen genau für solche schwierigen Bedingungen entwickelt. Wir haben die Heizquelle in ein spezielles Umhüllungssystem eingebettet – dadurch entsteht eine Schutzschicht, die die Wärme dort hält, wo sie benötigt wird, und Funken von der Umgebungsluft fernhält. So können Sie eine präzise Temperaturregelung erreichen – ohne das Risiko eines Ausfalls durch Entzündung.

Hochpräziser Temperaturheizer

Thu, 02 Jul 2026 02:40:47 +0800

Im Bereich der Lithografie lernt man schnell, dass eine Abweichung von 1°C während des Vorheizens des Photoresists nicht nur dazu führt, dass der Prozess gestört wird – sondern auch zu Abweichungen in der Breite der Linien, was dazu führen kann, dass die gesamte Produktion ruiniert wird. Wenn beim Trocknen der Wafer noch eine dünne Schicht aus Oberflächenspannung verbleibt, werden Partikel eingeschlossen – und damit ist die Produktionsqualität dahin. Die thermische Steuerung ist daher keine Nebenfunktion – sie ist ein integraler Bestandteil des Prozesses.

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Präziser IR Sensor für Wafern

Hochpräziser Temperaturheizer