Saalerhitzer mit Infrarotheizung

Mon, 27 Jul 2026 16:12:59 +0800

Herkömmliche Konvektionsöfen sind im Grunde genommen einfach nur große Behälter mit heißer Luft. In einer Halbleiterreinräumumgebung ist das ein Albtraum. Warum? Weil die Wärme nicht einfach an Ort und Stelle bleibt. Sie dringt in die Wände der Geräte ein, wodurch diese so heiß werden, dass sie Verbrühungen verursachen können. Zudem muss das Lüftungssystem ständig gegen diese Hitze ankämpfen, um den Raum atembar zu halten.

Eine bessere Methode zur Wärmeübertragung
Wir machen es anders. Anstatt die Luft zu erwärmen, verwenden wir kurzwellige Infrarotlampen. Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor: Die Wärme bewegt sich in gerader Linie – direkt auf die Werkstücke zu. Die Energie gelangt genau dorthin, wo sie hingehört. Da die Wärme nicht im Raum herumgeschleudert wird, wird die Außenhülle des Geräts nicht zum „Radiator“.

Heizelement für LPCVD Ofen

Sun, 21 Jun 2026 01:58:15 +0800

Auf dem Produktionsboden: Man weiß ja, wie schnell ein gut laufender Prozess in einen Haufen Schrott enden kann. Eine Abweichung von 0,3 °C im Temperaturprofil des LPCVD-Ofens reicht bereits aus, um die gewünschten Dickenwerte zu verfehlen. Wenn die Heizelemente nicht mehr richtig funktionieren, bricht die thermische Homogenität zusammen – dadurch leiden auch die Doping- und Depositionsprozesse. Die Photolacke werden schlechter bearbeitbar, die Kontrolle über die Dicke der Schichten wird schwieriger, und die Selektivität beim Ätzen nimmt ab.

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Saalerhitzer mit Infrarotheizung

Heizelement für LPCVD Ofen