Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafers

Tue, 21 Jul 2026 02:03:37 +0800

Sichere Aufbewahrung der MEMS-Wafer während des Trocknungsprozesses
Seien wir ehrlich: Eine Infrarotlampe mit hoher Intensität direkt neben brennbaren Lösungsmitteln zu platzieren, bedeutet Katastrophe. Wenn man MEMS-Sensorwafer nach einer chemischen Reinigung trocknen möchte, braucht man zwar Wärme – aber auf keinen Fall ein Feuer in der Reinraumumgebung.

Deshalb bauen wir die Lampen nicht einfach nur her – wir versehen sie mit einer speziellen Schutzschicht, damit die flüchtigen Dämpfe von den aktiven Komponenten ferngehalten werden.

Umgang mit den Dämpfen
In einem Raum, in dem chemische Reinigungsprozesse stattfinden, ist die Luft sehr dicht – voller Lösungsmitteldämpfe, die leicht zum Entzünden oder Überhitzen führen können. Eine gewöhnliche Lampe hätte keine Chance gegen diese Bedingungen.

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