IR on The Warm IR Heater Shop

Keramische Endkappe für IR Emitter

Thu, 16 Jul 2026 01:23:58 +0800

Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, wissen Sie bereits, wie wichtig Sauberkeit ist – bereits ein winziger Staubkorn kann katastrophale Folgen haben.
Das Problem ist, dass die meisten herkömmlichen Infrarotlampen im Grunde genommen „Kontaminationsquellen“ sind. Sie verwenden billige Klebstoffe, Harze sowie minderwertige Metalle in ihren Endkappen. Diese beginnen bereits bei Erwärmung zu bröckeln oder Gase abzugeben. Man sieht das zwar nicht, doch das Produkt leidet darunter.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir auf solche minderwertigen Komponenten verzichtet haben. Stattdessen verwenden wir hochreine Quarztuben sowie spezielle keramische Endkappen.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Mon, 13 Jul 2026 16:34:50 +0800

Wie man Infrarot-Heizung einsetzen kann, ohne die Sauberkeit des Reinraums zu gefährden
Wenn man in einem Raum der Klasse 100 arbeitet, stellt die Wärme ein echtes Problem dar. Es geht nicht nur darum, die richtige Temperatur zu erreichen – vielmehr muss die Luft weiterhin äußerst sauber bleiben.

Das Problem ist, dass herkömmliche Infrarotlampen oft „schmutzig“ sind. Sie geben Gase ab oder es fallen kleine, unsichtbare Teilchen vom Reflektor ab. Wenn eines dieser Teilchen auf eine Wafer oder einen optischen Bauteil fällt, entsteht ein riesiges Problem.

Präziser IR Sensor für Wafern

Thu, 09 Jul 2026 15:08:48 +0800

Einführung
Stellen Sie sich folgendes vor: Eine Waferbearbeitungsanlage, in der die Luft mit brennbaren Reinigungsmitteln erfüllt ist. In einer solchen Umgebung geben herkömmliche Heizelemente fast sofort auf.
Wir haben unsere Infrarotheizlampen genau für solche schwierigen Bedingungen entwickelt. Wir haben die Heizquelle in ein spezielles Umhüllungssystem eingebettet – dadurch entsteht eine Schutzschicht, die die Wärme dort hält, wo sie benötigt wird, und Funken von der Umgebungsluft fernhält. So können Sie eine präzise Temperaturregelung erreichen – ohne das Risiko eines Ausfalls durch Entzündung.

Konformale Beschichtung für Wafer IR

Sat, 27 Jun 2026 01:06:14 +0800

Auf einer Linie mit einer Länge von 300 mm führt eine Abweichung von 0,3 °C auf der Waferoberfläche dazu, dass die kritischen Abmessungen beeinflusst werden. Ein unplanter Stillstand kann den gesamten wöchentlichen Wärmeeinsatz in kürzester Zeit zunichtemachen. Eine konforme Beschichtung für die Infrarotbehandlung der Wafer ist daher nicht nur erwünscht – sie ist vielmehr ein entscheidender Faktor dafür, dass die Lithografie- und Fotolackverarbeitung von Schicht zu Schicht konstant bleibt.

Wir haben die Beschichtung so entwickelt, dass sie auf das Infrarotlicht sowie auf Temperaturgleichmäßigkeit reagiert. Dabei bleibt die Temperatur auf der Waferoberfläche während des Weich- und Hartbrennvorgangs bei ±0,1 °C. Die Beschichtung ist für Reinzuchtumgebungen von Klasse 1 bis Klasse 100 geeignet. Zudem wird die Anzahl der Partikel so gering gehalten, dass die Produktionsqualität nicht beeinträchtigt wird. Die Beschichtung übersteht wiederholte thermische Zyklen ohne Risse oder Austritt von Gasen – dadurch bleibt die Reproduzierbarkeit auch nach Tausenden von Produktionsschichten erhalten. Die Plattform ist für einen 7×24-Stunden-Betrieb ausgelegt – ohne unplanmäßige Ausfälle bei kontinuierlicher Nutzung. Die Lebensdauer ist außerdem deutlich länger als bei herkömmlichen thermischen Komponenten.