Hören Sie auf, die Wände der Schutzkammern zu erhitzen! Jeder, der schon mit Halbleiter-Schutzkammern gearbeitet hat, kennt dieses Problem. Man muss...

Auf dem Produktionsboden: Man weiß ja, wie schnell ein gut laufender Prozess in einen Haufen Schrott enden kann. Eine Abweichung von 0,3 °C im...

Auf dem Lithografieboden ist der Backprozess nicht nur eine Pause – es ist eine Toleranz, nach der man lebt. Die Temperaturen beim Soft-Bake und...