Herstellung von Biosensoren mit Infrarotlampe

Mon, 22 Jun 2026 18:42:20 +0800

In der Produktionsstätte zwingen die Bio-Sensor-Wafer dazu, eine strenge Kontrolle über die Temperatur sicherzustellen – denn der Fotoresist verzeiht keine Abweichungen. Da die kritischen Abmessungen immer kleiner werden, kann bereits eine Abweichung von ein paar Grad dazu führen, dass die Linienbreiten nicht mehr den Vorgaben entsprechen und somit Ausschuss entsteht. Infrarotlampen, die für die Herstellung von Halbleitern verwendet werden, helfen dabei, dieses Problem zu lösen.

Was wirklich wichtig ist
Die Infrarotlampen, die bei der Herstellung von Bio-Sensor-Wafern eingesetzt werden, strahlen kurzwelliges Infrarot aus, das eine schnelle, gezielte Erwärmung ohne Überschreitung der gewünschten Temperaturen ermöglicht. Dadurch wird eine Temperaturhomogenität auf Waferebene von ±0,1°C erreicht. Der Fotoresist erhält somit eine konstante Energiezufuhr, wodurch die Temperaturprofile stabil bleiben. Das System ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet und erzeugt keine Partikel während des Betriebs. Man kann sich auf eine zuverlässige Funktion rund um die Uhr ohne unplanmäßige Ausfälle verlassen – unterstützt durch eine thermische Konstruktion, die Kammer und umliegende Geräte thermisch isoliert.

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