Zertifizierte Infrarot Aushärtungslampe fab

Wed, 10 Jun 2026 01:30:51 +0800

Auf dem Fertigungsboden wissen Sie genau, was eine 1°C-Abweichung während des Photoresist-Bäckens bewirken kann – sie verschiebt Linienbreiten so stark, dass eine große Menge Ausschuss entsteht. Sie benötigen eine Temperatur, die genau den Sollwert trifft, genau dort und genau dann, wenn Sie es verlangen – Schicht für Schicht.

Was unter der Haube zählt
Wir setzen zertifizierte Infrarot-Aushärtungslampen ein, die NIR-Energie mit einer Wafer-übergreifenden thermischen Gleichmäßigkeit von ±0,1°C über den Belichtungsbereich liefern, damit Ihre Photoresist-Profile innerhalb des thermischen Budgets bleiben. Quarz-Halogen-Emitter sorgen für eine stabile Leistung vom Softbake bis zum Hardbake mit reproduzierbaren Temperaturanstiegskurven, die die Kontrolle der kritischen Abmessungen schützen. Das System ist für den Reinraumbetrieb Klasse 1–100 ausgelegt, ohne Partikelzunahme an der Prozessschnittstelle und erfüllt vollständig die Sicherheits- und EHS-Anforderungen gemäß SEMI S2/S22. Die geschlossene Temperaturregelung, kalibriert auf rückführbare Standards, sichert eine konstante Backqualität von Charge zu Charge und Schicht zu Schicht.

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