Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Doppelröhrenlampen tatsächlich funktionieren
Wenn Sie Halbleiterwafer erhitzen und dabei Energie an die Umgebungsluft verlieren, dann arbeitet Ihre Systemkonstruktion gegen Sie.
Die meisten Standardquarzlampen strahlen die Wärme in alle Richtungen ab. In engen Räumen ist das eine Katastrophe – der größte Teil dieser teuren Energie geht einfach auf den Gehäusekörper oder verschwindet im Raum. Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir goldbeschichtete Doppelröhrenlampen verwendet haben. Dadurch wird die Wärme genau dorthin geleitet, wohin sie benötigt wird – direkt auf die Oberfläche des Wafer.
Der „Zauber“ der Goldbeschichtung
Gold ist hervorragend darin, Infrarotenergie zu reflektieren. Durch die Aufbringung einer dünnen Schicht Gold auf die Rückseite der Lampe wird die Lampe im Grunde zu einer Art „Leuchte für Wärme“. Anstatt einer 360-Grad-Beleuchtung werden die Photonen, die nach hinten gerichtet sind, nach vorne reflektiert. Dadurch entsteht ein konzentrierter Strahl, der direkt auf die Waferoberfläche trifft. Es ist ganz einfach: Jeder Watt, den Sie bezahlen, kommt tatsächlich zur Erhitzung des Wafer zum Einsatz – anstatt nur den Maschinenrahmen zu erwärmen.
Warum die „Doppelröhren“-Konstruktion wichtig ist
Wir verwenden eine Doppelröhrenkonstruktion, weil dadurch die Oberfläche der Glühfäden verdoppelt wird – ohne dass mehr Platz benötigt wird. Das ist wichtig für die Hardware: Sie können die Leistung erhöhen, ohne dass die Glühfäden ihre Belastungsgrenze erreichen. Dadurch müssen Sie die Lampen seltener ersetzen. Zudem wird mehr Wärme auf den Wafer übertragen, sodass die Aufheizzeit erheblich verkürzt wird. Es ist einfach schneller.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Diese Art von Leistung hat aber auch ihre Nachteile. Da die Goldbeschichtung die Wärme so intensiv bündelt, muss man bei der Steuerung der PID-Controller sehr genau sein. Wenn der Abstand zwischen den Komponenten zu gering ist, entstehen Hotspots – oder schlimmer noch: Der Wafer wird beschädigt. Außerdem muss sichergestellt werden, dass das Kühlsystem die Belastung auf den Lampenhaltern bewältigen kann – sonst könnte das gesamte Gerät beschädigt werden.
Wir haben diese Lampen als Ersatz für Hochleistungsanlagen entwickelt – wo ein ungleichmäßiges Heizen nicht akzeptabel ist. Stellen Sie einfach den richtigen Abstand ein – dann sinken Ihre Stromkosten, während die Oberflächentemperaturen genau dort bleiben, wo sie sein sollen.