Lampa na sušení destiček DNS (Screen)

Wed, 24 Jun 2026 00:42:53 +0800

V procesu litografie nebereme zahřívání fotorezisty jako „jenom zahřívání“. Jde o kontrolu rozměrů – jednoduše řečeno. Odchylka o 1 °C během měkkého nebo tvrdého zahřívání může změnit kritické rozměry výrobku. Nesouvislý profil teploty pak přivádí k problémům s hranami výrobků a ke snížení jejich kvality. Svítidlo DNS je navrženo s ohledem na tuto skutečnost – termální kontrola je optimalizována tak, aby odpovídala požadavkům výroby polovodičů.

Co je z technického hlediska důležité
Svítidlo využívá krátkovlnné infračervené záření přizpůsobené na základě reakce fotorezistu na teplotu. Díky tomu dosahuje rychlého nárůstu teploty a přesné regulace. Na úrovni celé desky zůstává rovnoměrnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, což znamená, že každé místo dostává stejnou teplotní hodnotu. Kompatibilita se čistými prostředími není dodatečnou vlastností – konstrukce svítidla je určena pro prostředí třídy 1–100, s materiály a upevňovacími prvky, které minimalizují vznik částic. Opakovatelnost výsledků je zajištěna díky uzavřenému regulačnímu systému a stabilnímu výkonu svítidla po dobu více než 5 000 hodin, přičemž odchylka intenzity je pod 5 %.

(Pobřeží) on The Warm IR Heater Shop

Lampa na sušení destiček DNS (Screen)