如何使用红外线加热器，同时避免破坏洁净室环境
在100级洁净室环境中工作时，热量管理是个难题。不仅要控制好温度，还要确保空气的纯净度。
问题在于，普通的红外线灯往往存在污染问题——它们的反射镜会释放出微小的颗粒物。如果这些颗粒落在晶圆或光学元件上，就会引发严重问题。
我们通过使用高纯度的石英外壳，再搭配专门的铝合金反射镜，解决了这个问题。
为何选择合成石英
我们选择合成高纯度石英作为灯壳材料，因为它具有出色的耐热性。在高功率下工作时，大多数玻璃材料都会出现老化或“发烟”的现象，但合成石英则不会。它能有效抵抗热冲击，也不会让金属杂质进入工作区域。即使处于高温状态，它依然保持清洁。
反射镜的重要性
实际上，污染往往从反射镜开始。便宜的抛光金属板很快就会出现剥落或氧化现象。我们则使用高品质的铝合金，其表面处理方式能够将红外线能量准确反射回去，而不会产生任何颗粒物。
反射镜的安装必须非常精确，这样才能确保热量直接作用于目标物体上。如果反射镜的位置偏差几毫米，那么热量分布就会不均，整个设备也会升温。没人希望出现这种情况。
如何确保其正常运行
这类灯可以轻松应用于各种高洁净度生产环境中。不过有一点需要注意：要确保气流顺畅。虽然材料本身是干净的，但强烈的热量会产生对流现象。如果层流控制不当，这些对流现象反而可能会把灰尘带到部件上。
我们已让这些灯连续运转24/7，却没有发现任何污染问题。另外，务必确保电路有良好的屏蔽措施，因为电源可能会产生电磁干扰，从而影响洁净室中的传感器功能。