Tại sao các bộ phản xạ được phủ vàng lại quan trọng trong việc làm nóng wafer?
Khi bạn làm nóng wafer, thực chất bạn đang cố gắng ngăn chặn sự lãng phí năng lượng. Hầu hết năng lượng tỏa ra từ bộ phận làm nóng đều bị thất thoát vào các bức tường của buồng làm việc. Điều này gây lãng phí năng lượng và khiến công việc của bạn trở nên khó khăn hơn.
Đó chính là lúc các bộ phản xạ được phủ vàng phát huy vai trò của mình.
Bí quyết nằm ở khả năng phản xạ ánh sáng.
Vàng có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại rất tốt. Thay vì để năng lượng tỏa ra ngoài, lớp vàng mỏng sẽ đẩy những photon đó trở lại về phía mục tiêu cần làm nóng.
Hãy coi đó như việc sử dụng kính lúp để tập trung năng lượng. Kết quả là nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer sẽ được duy trì ổn định. Bạn không cần phải lo lắng liệu các mép wafer có nóng bằng trung tâm hay không nữa.
Nhưng có một điểm cần lưu ý.
Vì bạn đang tập trung toàn bộ năng lượng vào một điểm, nên cường độ nhiệt trên bề mặt wafer sẽ tăng lên. May mắn thay, bạn vẫn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn với công suất thấp hơn.
Nhưng điều tồi tệ là hệ thống làm mát của bạn phải đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt này. Nếu các bộ phận làm mát quá nhỏ, lượng nhiệt được phản xạ lại sẽ tích tụ trong thiết bị. Nếu không cẩn thận, bạn có thể làm hỏng các dây dẫn điện. Hãy kiểm tra thông số làm mát trước khi thay thế.
Làm thế nào để sử dụng chúng trong xưởng sản xuất của bạn?
Chúng được thiết kế để thay thế ngay lập tức cho các bộ phận làm nóng hiện tại của bạn. Bạn không cần phải xây dựng lại toàn bộ hệ thống làm nóng.
Chỉ cần thay thế bằng các bộ phản xạ được phủ vàng, bạn đã có thể ngăn chặn sự lãng phí năng lượng. Bạn sẽ thấy mức tiêu thụ điện năng giảm xuống, nhưng tốc độ làm nóng vẫn duy trì ở mức cần thiết.
Ngoài ra, bạn còn có thể kiểm soát tốt hơn mức độ chênh lệch nhiệt độ giữa các vùng trên bề mặt wafer. Điều này giúp tránh việc một số vùng bị quá nóng, làm hỏng toàn bộ lô wafer. Các bộ phản xạ bằng nhôm cũng có thể sử dụng được trong một số trường hợp, nhưng đối với những ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao, vàng mới là lựa chọn tốt nhất.