Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litografia, bạn sẽ nhanh chóng nhận ra rằng việc nhiệt độ tăng thêm 1°C trong quá trình xử lý hóa chất dùng để xử lý bề mặt wafer không chỉ gây ra sự thay đổi về kích thước các đường nét in ra, mà còn có thể khiến toàn bộ sản phẩm bị hỏng. Nếu bề mặt wafer còn sót lại lớp chất lỏng mỏng, điều này sẽ khiến các hạt bụi bám vào bề mặt wafer, từ đó làm giảm tỷ lệ sản phẩm thành công. Việc kiểm soát nhiệt độ không phải là công việc phụ; đó chính là yếu tố then chốt trong quy trình sản xuất.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại ngắn sóng của chúng tôi giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, với độ lặp lại của nhiệt độ ở mức ±0,2°C. Khả năng điều chỉnh nhiệt độ nhanh giúp rút ngắn thời gian xử lý, còn hệ thống kiểm soát vòng lặp giúp duy trì nhiệt độ ổn định ngay cả khi cửa thiết bị mở ra và đóng lại. Thiết kế bộ phát không sử dụng thủy tinh giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi, từ đó giúp duy trì môi trường sạch trong phòng sản xuất. Bạn sẽ có được tính ổn định 24/7, không có thời gian dừng máy không mong muốn, với thời gian hoạt động trung bình trên 10.000 giờ.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong nhà máy
Trong quá trình sấy khô wafer, tia hồng ngoại có thể thâm nhập vào các chi tiết nhỏ trên bề mặt wafer và loại bỏ các chất dung môi mà không tạo thành lớp chất lỏng trên bề mặt wafer. Điều này giúp giảm sự bám dính của các hạt bụi. Trong quá trình xử lý hóa chất dùng để xử lý bề mặt wafer, độ đồng đều và khả năng lặp lại của nhiệt độ giúp kiểm soát chính xác kích thước các đường nét in ra, giảm số lượng khuyết tật và lớp bẩn trên bề mặt wafer. Ngoài ra, việc sử dụng tia hồng ngoại còn giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng – vì khả năng phản ứng nhanh với nhiệt độ giúp giảm thời gian chờ đợi, từ đó giảm chi phí vận hành.
Những điều bạn cần lưu ý khi lắp đặt
Việc lắp đặt khá đơn giản trên các giá đỡ tiêu chuẩn. Tuy nhiên, các bộ phận phản xạ ánh sáng và bộ phát cần được điều chỉnh chính xác ngay từ lần lắp đặt đầu tiên. Bạn cũng cần tiến hành calibrate lại các bộ phận khi thay thế bộ sưởi. Bạn cần chờ một khoảng thời gian để thiết bị ổn định trước khi có thể bắt đầu quy trình sản xuất. Một khi đã được calibrate, sự biến thiên nhiệt độ sẽ được kiểm soát ở mức tối thiểu – vì vậy hãy dành ngân sách cho việc điều chỉnh ban đầu như một phần của quy trình lắp đặt.