Litografi sürecinde, foto direncin yumuşak pişirilmesi sırasında meydana gelen 1°C’lik bir değişimin sadece işlemi bozmakla kalmadığını, aynı zamanda bütün ürünün bozulmasına neden olabilecek hatalara yol açtığını hızla öğrenirsiniz. Eğer wafelerin kurutulması sırasında yüzeyde ince bir gerilim tabakası kalırsa, bu durum parçacıkların birikmesine ve verimin düşmesine neden olur. Termal kontrol, arka planda yer alan bir işlem değildir; aslında bu işlemin kendisidir.
Teknik olarak önemli olanlar: Kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcılarımız, wafferin her noktasında sıcaklık farkını ±0,1°C içinde tutar; ayarlanan sıcaklık değerlerinin tekrarlanabilirliği ise ±0,2°C civarındadır. Hızlı ısınma süresi, işlem süresini azaltırken, kapının açılıp kapanması durumunda bile sıcaklığı stabil tutar. Kuvars içermeyen ısıtıcı tasarımı sayesinde parçacık birikimi sıfıra indirilir; böylece temiz oda standartlarına uygun kalınır. 10.000 saatten fazla MTBF değeriyle, kesintisiz ve güvenilir bir çalışma sağlanır.
Neden fabrikalarda işe yarıyor? Wafferlerin kurutulması sırasında kızılötesi ışınlar, mikro yapıların içine nüfuz ederek çözücüleri uzaklaştırır; böylece temas gerektirmeyen bir kurutma işlemi gerçekleşir ve parçacık yapışması azalır. Foto direncin önceden veya tam olarak pişirilmesi sırasında bu düzenlilik ve tekrarlanabilirlik, daha iyi kontrol imkanı, daha az kusur ve daha düşük hata oranları anlamına gelir. Ayrıca enerji tüketimi de azalır; hızlı ısı tepkisi sayesinde daha az boşta kalma süresi olur ve bu da her parti için işletme maliyetlerini düşürür.
Planlamanız gerekenler: Standart raylara montajı oldukça basittir; ancak ışınların doğru yönde gitmesi gerekmektedir. Yansıtıcılar ve ısıtıcıların hizalanması ilk kurulum sırasında kontrol edilmelidir. Isıtıcılar değiştirildiğinde de kalibrasyon işlemleri gereklidir. İşlemin başarılı olabilmesi için kısa bir ısınma süresi gereklidir. Kalibrasyondan sonra sıcaklık değişiklikleri en aza iner; bu yüzden başlangıçtaki hizalamayı entegrasyon sürecinin bir parçası olarak planlamanız gerekir.