Ekipmanlarınızı ısıtmayı bırakın (ve yerine wafere ısı uygulamaya başlayın)
Çoğu standart ısıtıcı eleman oldukça dağınık bir yapıya sahiptir. Enerji her yöne yayılır; yani 360 dereceye yayılan ısı her yere etki eder. Bir yarı iletken üretim tesisinde bu büyük bir sorundur.
Isı tek bir yöne yönlendirilemediğinde, pahalı ekipmanların iç duvarları tüm bu boşa harcanan enerjiyi emer. Böylece “sıcak duvarlar” oluşur. Bu durum, makineleri kullanan kişiler için büyük bir sorundur; aynı zamanda cihazın termal dengesini de tamamen bozar.
İşte bunu nasıl çözdüğümüz:
Yöneltme özelliğine sahip kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Sadece sıradan kuvars tüpler kullanmak yerine, kaplamalı emiterler ve özel yansıtıcılar kullanıyoruz.
Bunu, bir ampul yerine el feneri kullanmak gibi düşünebilirsiniz. Kızılötesi radyasyonu tam olarak istenen yere yönlendiriyoruz: doğrudan wafere veya substrata. Işın dar olduğu için enerji, cihazın gövdesine değmez. Isı, işlemin yapıldığı alana gider, cihazın gövdesine değil. İşlem en yüksek sıcaklıkta devam ederken bile ekipmanın duvarlarına dokunabilmek harika bir hisdir.
Bu sistemleri kurmak kolaydır:
Bu lambaları, mevcut sistemlere kolayca entegre edebilirsiniz. Temiz odayı parçalamanıza veya termal koruma sistemlerini yeniden kurmanıza gerek yoktur. Sistem hemen çalışmaya başlar.
Ancak dikkat: Kızılötesi enerjiyi bu şekilde odakladığınızda, hedef noktadaki enerji yoğunluğu artar. PID kontrol cihazlarınızı tekrar kontrol etmeniz gerekebilir. Eğer sensörleriniz bu artan enerjiye uygun şekilde ayarlanmamışsa, sıcaklık kontrolü bozulabilir ve waferler zarar görebilir. Bu basit bir sorundur, ancak çok önemlidir.
Bu sistem sayesinde neler değişir?
Yöneltme özelliğine sahip ısıtıcılar sayesinde, o hacimli harici soğutma fanlarına ve rahatsız edici sıvı soğutma sistemlerine ihtiyaç kalmaz. Cihaz daha az yer kaplar. Ortam daha stabil kalır. Ve en önemlisi, teknisyenler hızlı manuel ayarlamalar yaparken yanıklara uğrama endişesi olmadan cihazın etrafında hareket edebilirler. Bu da tüm çalışma alanını daha güvenli ve kontrol edilebilir hale getirir.