Üretim sahasında, fotoresist bake sırasında 1°C’lik bir sapmanın ne yapabileceğini çok iyi bilirsiniz—hat kalınlıklarının o kadar kayması, çok sayıda parçanın hurdaya çıkmasına neden olabilir. Sıcaklığın tam olarak istediğiniz yerde ve zamanda, vardiya fark etmeksizin, kesin olarak kontrol edilmesi gerekir.
Kaputun altında önemli olan
Sertifikalı kızılötesi kürleme lambaları kullanıyoruz; bunlar, çekimde ±0.1°C wafer seviyesinde termal uniformite sağlayan NIR enerjisi verir, böylece fotoresist profiliniz termal bütçe içinde kalır. Kuvars-halojen emiterler, yumuşak bake’den sert bake’ye kadar çıkışı kararlı tutar ve kritik boyut kontrolünü koruyan tekrarlanabilir rampa profilleri sunar. Sistem, proses arayüzünde partikül artışı olmadan Class 1–100 temiz oda koşulları için tasarlanmıştır ve SEMI S2/S22 güvenlik ve EHS standartlarına tam uyumludur. İzlenebilir standartlara kalibre edilmiş kapalı çevrim sıcaklık kontrolü, partiden partiye ve vardiyadan vardiyaya bake tutarlılığını garanti eder.
Fotolitografide bunu önemli kılan sebep şudur: bake aşaması yapışmayı, çözücü giderimini ve cam geçişini belirler—sonrasında gelen her şey buna bağlıdır. Bu lambayla, yumuşak bake ve sert bake profilleri tekrarlanabilir, bu da yeniden işleme oranını azaltır, retikülleri korur ve hurdayı minimumda tutar. Hızla devreye girer, set noktaya çabuk ulaşır ve aşım olmadan sabit tutar—böylece çevrim süresi kısalır ve üretim verimi dengelenir.
Enerji kullanımı azalır çünkü enerji doğrudan wafer’a aktarılır, odayı ısıtmaya gitmez. Güvenilirliği 7/24 fabrika çalışma koşullarında kanıtlanmıştır; uzun emiter ömrü ve modüler servis kolaylığı beklenmeyen duruşları düşük seviyede tutar.
Bazı pratik notlar
Lamba, uniformitenin istenen seviyede kalması için özel bir filtrelenmiş enerji beslemesine ve uygun termal izolasyona ihtiyaç duyar. Çoğu hat için retrofit kurulumu doğrudandır, ancak hizalama toleransları sıkıdır. Sıcak bölge boyunca sıcaklığı haritalamak ve bake reçetesini film yığınına göre ayarlamak için kısa bir kalibrasyon çalışması planlayın.
Kalibre edildikten sonra proses penceresi öngörülebilir biçimde sıkılaşır—ve bu, yüksek verimli fotolitografi peşindeyken istediğiniz durumdur.