ในขั้นตอนการทำความแห้งวงจรรวม การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.3°C ก็สามารถทำให้มิติสำคัญของวงจรรวมเปลี่ยนแปลงไปได้ถึงระดับนาโนเมตร ซึ่งส่งผลให้เกิดการสูญเสียผลผลิตในกระบวนการผลิต เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรดขึ้นมา เพื่อลดความผันผวนดังกล่าว ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในขั้นตอนที่มีความไวต่ออุณหภูมิ และช่วยให้กระบวนการผลิตดำเนินไปได้อย่างต่อเนื่อง โดยไม่ต้องพึ่งการหยุด/เริ่มกระบวนการบ่อยๆ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดคลื่นสั้นที่มีความสามารถตอบสนองได้รวดเร็ว และมีการควบคุมสเปกตรัมได้อย่างแม่นยำ ทำให้พลังงานถูกส่งไปยังวงจรรวมและสารโฟโตเรซิสต์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่มีการสูญเสียพลังงาน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนวงจรรวมอยู่ในช่วง ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำกระบวนการก็อยู่ในช่วงที่แม่นยำ นอกจากนี้ ยังมีคุณสมบัติที่เหมาะสมสำหรับห้องสะอาด เช่น วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย การเชื่อมต่อที่แน่นหนา และพื้นผิวที่ช่วยลดการเกิดอนุภาค ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับการใช้งานในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 เครื่องทำความร้อนเหล่านี้สามารถติดตั้งเข้ากับแพลตฟอร์มการผลิตมาตรฐานได้ โดยมีอินเตอร์เฟซทางกลที่เรียบง่าย และสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่องเป็นเวลาหลายพันชั่วโมง โดยมีการลดลงของกำลังไฟฟ้าน้อยกว่า 5%
เหตุผลที่มันได้ผลจริง ในขั้นตอนการทำความแห้ง รังสีอินฟราเรดช่วยให้เกิดการทำให้วงจรรวมแห้งได้อย่างสม่ำเสมอและรวดเร็ว ซึ่งช่วยป้องกันไม่ให้เกิดรอยน้ำหรือโครงสร้างขนาดเล็กก่อนขั้นตอนการพิมพ์วงจรรวม ส่วนในขั้นตอนการประมวลผลสารโฟโตเรซิสต์ ระบบเดียวกันนี้ก็ช่วยควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้ความสม่ำเสมอของความกว้างของวงจรรวมดีขึ้น และลดปัญหาเกี่ยวกับขอบของวงจรรวมได้ ขั้นตอนการอบและการเซ็ตตัวของสารโฟโตเรซิสต์ก็ดำเนินไปตามโปรไฟล์อุณหภูมิที่กำหนดไว้ ทำให้การยึดเกาะของสารโฟโตเรซิสต์กับวงจรรวมเป็นไปอย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ต้องมีการปรับแต่งอีก
การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะเครื่องทำความร้อนจะทำงานเฉพาะเมื่อมีการดำเนินการผลิตเท่านั้น และความเฉื่อยทางความร้อนที่ต่ำก็ช่วยลดการสูญเสียพลังงานในขณะที่เครื่องไม่ทำงาน การอบวงจรรวมน้อยลงก็หมายความว่ามีวงจรรวมที่เสียหายน้อยลง และช่วยให้สามารถคาดการณ์เวลาการผลิตได้
สิ่งที่คุณควรรู้ การติดตั้งเครื่องทำความร้อนนั้นขึ้นอยู่กับการปรับจูนทางแสง หากทำไม่ถูกต้อง ก็จะเกิดจุดร้อนบนวงจรรวมได้ บางชนิดของโพลิเมอร์และสารที่ใช้ป้องกันการสะท้อนแสงนั้นจะดูดซับรังสีอินฟราเรดได้มาก ดังนั้นในการทดสอบครั้งแรกควรมีการวัดอุณหภูมิบนวงจรรวมด้วยเซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำ เพื่อยืนยันความแม่นยำของอุณหภูมิที่กำหนดไว้ หลังจากนั้นก็สามารถทำการตรวจสอบความแม่นยำของอุณหภูมิเป็นประจำได้ โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งทุกวัน