บนพื้นโรงงาน ความผันผวนทางความร้อนไม่ใช่เรื่องทฤษฎี แต่ปรากฏเป็นแผ่นเวเฟอร์เสีย รูปโปรไฟล์โฟโตเรซิสต์ที่ถูกทำลาย และผลผลิตที่ลดลงกระทบไปทั่วสายการผลิต เมื่อหลอดไฟในเครื่อง Mattson RTP ของคุณเสื่อมสภาพ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลง และหน้าต่างกระบวนการจะเล็กลง เราจึงพัฒนาระบบหลอดไฟทดแทนเพื่อหยุดความคลาดเคลื่อนนั้นจากต้นทาง
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
หลอดไฟใช้แผ่นฮาโลเจนแบบคลื่นสั้นภายในบรรจุภัณฑ์ควอตซ์บริสุทธิ์สูง ทำให้ได้อัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วโดยไม่เกินงบประมาณพลังงานความร้อน ในพื้นที่กระบวนการ ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์ยังคงอยู่ในช่วง ±0.1°C และความเที่ยงตรงซ้ำรอบต่อรอบอยู่ที่ 0.2°C ระบบทำงานได้เสถียรที่อุณหภูมิระหว่าง 250°C ถึง 650°C พร้อมการตอบสนองในระดับวินาทีเศษ เหมาะสำหรับขั้นตอนการแอนนีลจุดสูงสุดและการอบโฟโตเรซิสต์ ชุดประกอบนี้ได้รับการรับรองให้ใช้ในห้องคลีนรูมระดับ Class 1–100 โดยไม่เกิดการปล่อยอนุภาค และมีอินเทอร์เฟซเชื่อมต่อที่เข้ากันได้กับอุปกรณ์ Mattson
เหตุผลที่ใช้งานได้ในลิโธกราฟี
ในลิโธกราฟี ขั้นตอนอบแบบซอฟต์และฮาร์ดเบคต้องการการควบคุมอุณหภูมิที่เข้มงวด แม้การเกินอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยก็ส่งผลต่อมิติความกว้างแถบ (CD) และมุมผนังข้าง ด้วยหลอดไฟนี้ โพรไฟล์การอบจะอยู่ในเป้าหมาย ความแปรผันของความกว้างแถบลดลง และช่วงการซ้อนทับของเลเยอร์ดีขึ้น นอกจากนี้ยังช่วยลดการใช้พลังงานเพราะหลอดไฟจะทำความร้อนที่เวเฟอร์ ไม่ใช่ในช่องอบ และช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่ยาวขึ้นช่วยลดภาระการบำรุงรักษาประจำ มีการหยุดการทำงานโดยไม่คาดคิดน้อยลง เวลาการเปลี่ยนหลอดที่คาดการณ์ได้ และทำให้กระบวนการมีค่า Cpk ที่เสถียร
ข้อควรพึงระวัง
การติดตั้งต้องปรับให้ตรงกับทิศทางหลอดไฟ การไหลของน้ำหล่อเย็น และการจัดแนวแสงกับห้องอบ Mattson แต่ละรุ่น เราแนบโปรแกรมปรับเทียบและชุดแผนที่ความร้อนเพื่อให้คุณบันทึกความสม่ำเสมอก่อนปล่อยใช้ หลอดไฟนี้ถูกออกแบบมาสำหรับบรรยากาศไนโตรเจนและก๊าซเฉื่อย—สภาพแวดล้อมที่มีออกซิเจนสูงจะลดอายุการใช้งานของแผ่นฮาโลเจน วางแผนการทดสอบคุณสมบัติระยะสั้นหลังติดตั้งเพื่อยืนยันสูตรและยืนยันว่าสภาพการปล่อยอนุภาคในกระบวนการนิ่งที่จุดกระบวนการของคุณแล้ว