На производственной линии тонкопленочные солнечные элементы крайне чувствительны к тепловым возмущениям. Даже небольшое отклонение температуры может привести к оставлению остатков фоторезиста, образованию налета и снижению эффективности производства. Необходимо, чтобы тепло распределялось равномерно по всей поверхности заготовки, цикл за циклом.
Точность инфракрасного излучения: контроль температуры с точностью до субмиллиметра
Мы разработали эту лампу с использованием ИК-источников, предназначенных для быстрого и местного нагрева. Благодаря этому достигается равномерное тепловое поле на всей поверхности заготовки; точность температуры составляет ±0,1°C. Повторяемость процесса гарантируется за счет точного управления температурой, что исключает наличие “горячих точек” или холодных участков на поверхности заготовки. Лампа соответствует стандартам чистых помещений класса 1–100; отсутствие осадков позволяет сохранять стабильный уровень чистоты во время длительной эксплуатации.
Почему это работает при производстве тонкопленочных солнечных элементов
Тонкопленочные солнечные элементы требуют строгого контроля температуры и чистоты поверхностей. Эта лампа обеспечивает необходимую повторяемость процесса обработки фоторезиста, что позволяет избежать проблем, связанных с избыточным нагревом или недостаточным его уровнем. Быстрый и прямой нагрев сокращает время обработки, снижает энергопотребление и поддерживает стабильность процесса. Устройство может работать более 5 000 часов с снижением производительности менее чем на 5%, что позволяет использовать его круглосуточно с минимальным количеством замен ламп и перерывов в работе.
Инструкции по установке и эксплуатации
Эту лампу можно легко установить на существующие треки, но для поддержания требуемого уровня равномерности температуры необходимо точно настроить оптическую систему. Перед началом работы необходимо провести краткую настройку для установки правильного расстояния между лампой и заготовкой, а также для определения профиля луча. Работа в условиях низкой влажности способствует долгосрочной стабильности работы лампы. Если заготовки имеют сильно разную способность поглощения тепла, необходимо скорректировать параметры процесса, чтобы температура оставалась в заданных пределах.