Перестаньте нагревать оборудование – начните нагревать саму пластинку.
Большинство стандартных нагревательных элементов имеют неэффективную структуру: они излучают энергию во все стороны – под углом 360 градусов. В производственных цехах по производству полупроводников это представляет серьезную проблему.
Когда тепло распространяется во всех направлениях, внутренние поверхности дорогостоящего оборудования поглощают всю эту отработанную энергию. В результате возникают «горячие поверхности». Это не только создает проблемы для операторов оборудования, но и нарушает его термическую стабильность.
Вот как мы решаем эту проблему.
Мы используем направленные инфракрасные лампы. Вместо обычных кварцевых трубок мы используем специальные эмиттеры и отражатели.
Можно сказать, что это как замена обычной лампочки на фонарик: мы направляем инфракрасное излучение именно туда, где оно нужно – прямо на пластинку или подложку.
Благодаря узкому лучу энергия не попадает на корпус оборудования. Тепло идет на обрабатываемый материал, а не на само оборудование. Это замечательно: можно трогать поверхности оборудования во время работы при максимальной температуре, и они остаются прохладными.
Как использовать эти лампы
Эти лампы разработаны так, чтобы их можно было легко заменить без необходимости разбирать чистую комнату или перестраивать систему охлаждения. Они просто работают.
Но есть один важный момент: когда вы сосредотачиваете инфракрасное излучение в определенной точке, его интенсивность резко возрастает. Вам потребуется проверить параметры контроллера PID. Если датчики не настроены правильно, температура может превысить допустимые значения, и это может повредить пластинку. Это простое решение, но очень важное.
Что это дает на практике
При использовании направленного нагрева можно отказаться от громоздких внешних вентиляторов и сложных систем жидкостного охлаждения. Оборудование занимает меньше места. Среда вокруг оборудования остается стабильной. И самое главное – сотрудники могут свободно перемещаться вокруг оборудования, не беспокоясь о возможных ожогах во время ручной настройки. Это делает рабочее пространство более безопасным и контролируемым.