Przestańcie grzać ściany komórki ochronnej!
Każdy, kto pracował z komorami ochronnymi do obróbki półprzewodników, wie, z jakimi trudnościami się boryka. Trzeba podgrzać wnętrze komórki, ale nie chce się, aby zewnętrzne ściany stały się gigantycznymi grzejnikami.
Jeśli używasz standardowych grzejników konwekcyjnych, w istocie grzejesz całe powietrze wewnątrz komórki. To powietrze dotyka wszystkiego – obudowy, uszczelek, ramienia operatora. To chaos. W efekcie powstają irytujące obszary o wysokiej temperaturze, które mogą uszkodzić uszczelki lub, co gorsza, spalić kogoś.
Znaleźliśmy lepsze rozwiązanie: grzanie infralaczym.
Dlaczego infralas faktycznie działa
Pomyślcie o tym jak o latarkach zamiast grzejnikach. Infralas emituje promieniowanie w prostej linii. Ciepło nie uwzględnia otaczającego je powietrza; działa tylko wtedy, gdy trafia na cel, np. na płytkę krzemową lub podłoże.
Rezultat? Element roboczy się nagrzewa, natomiast ściany komórki pozostają chłodne w dotyku. To o wiele lepszy sposób na radzenie sobie z dużą gęstością ciepła.
Wybór odpowiedniego urządzenia
Zwykle wybieramy lampy infralacze o krótkich falach. One przenikają głębiej i reagują znacznie szybciej.
Podczas ustawiania lampy kluczowy jest kąt padania promieniowania. Można dostosować lampę tak, aby jej wiązka trafiała dokładnie na potrzebnym miejscu na elemencie roboczym.
Jednak należy uważać na gęstość mocy. Jeśli użyjesz lampy o wysokiej mocy, ale twój materiał nie pochłania tej konkretnej długości fali, energia po prostu odbije się od niego. Wtedy wracamy do punktu wyjścia – ciepło nadal rozprzestrzenia się i ogrzewa ściany komórki. Musisz dopasować moc lampy do tego, co twój element roboczy rzeczywiście potrafi pochłonąć.
Szczere kompromisy
Trzeba przyznać, że to nie jest idealne rozwiązanie na każdy problem. Ze względu na skierowane ciepło, musisz mieć do czynienia z dużymi gradientami temperatury. Środek elementu roboczego będzie gorący, natomiast brzegi pozostaną chłodniejsze. Jeśli potrzebujesz idealnie równomiernego ogrzania, prawdopodobnie będziesz musiał obracać element lub użyć kilku lamp.
I jeszcze jedna rada: uważaj na pokrywy kwarcowe. Są delikatne. Jeden nieostrożny ruch podczas montażu może sprawić, że cała lampa zostanie zniszczona. Traktuj je z ostrożnością.