Out on the fab floor draait de prestatie van fotoresist-bakken om nanometers en minuten. Een afwijking van 2°C tijdens soft bake of hard bake kan kritieke afmetingen verschuiven, een batch afkeuren en uren verspillen die je niet terugkrijgt. Onze behuizingen van roestvrij staal voor de heaters zijn ontworpen om die variabiliteit uit te sluiten.
Wat technisch gezien belangrijk is
De behuizing is gefreesd uit 316L roestvrij staal—gekozen omdat het compatibel is met vacuüm- en cleanroomomgevingen en bestand is tegen de corrosieve chemie die we door deze tools voeren. Geïntegreerde heaters zorgen voor thermische uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C, met een herhaalbaarheid die nauwkeurig genoeg is om fotoresistprofielen batch na batch consistent te houden.
We beheersen oppervlakteafwerkingen en naden om de deeltjesgeneratie zo dicht mogelijk bij nul te houden, wat de opbrengst beschermt in Class 1–100 omgevingen. De besturingen houden de temperatuur continu stabiel, waardoor je kunt draaien zonder onverwachte stilstand.
Waarom het standhoudt in lithografie en resistverwerking
Het thermisch budget is hier niet optioneel. De behuizing stabiliseert de bakcurve zodat de soft bake het oplosmiddel voorspelbaar onttrekt en de hard bake uithardt zonder huidvorming of bruggen. Cleanroomcompatibiliteit vermindert microcontaminatie, wat leidt tot minder herwerk en minder afval.
En omdat de thermische regeling nauwkeurig is, verlopen opwarming en stabilisatie sneller—de cyclustijd daalt en het energieverbruik neemt af, zonder dat dit ten koste gaat van de opbrengst.
De praktische details die je goed moet regelen
Installatietoleranties zijn strak. Lijn de behuizing uit op de toolpoort binnen de gespecificeerde uitloop en pas het pakkingmateriaal aan op je oplosmiddelchemie om uitgassing te voorkomen.
Reken op een korte opwarmperiode tijdens kwalificatie. Documenteer je referentiewaarden voor temperatuurinstellingen, opwarmtempo’s en afkoelprofielen. Zodra het proces vastligt, draait het systeem met minimale aanpassing—maar een gedisciplineerde kalibratieplanning blijft noodzakelijk om die ±0,1°C prestatie over duizenden cycli te behouden.