Op een productielijn met een lengte van 300 mm heeft een temperatuurverschil van 0,3°C al invloed op de kritieke afmetingen van het product. Eén onverwachte storing kan al het thermische budget voor de hele maand in één klap tenietdoen. Een conformede coating voor de schijf is dan ook geen optie, maar een noodzakelijkheid: deze coating zorgt ervoor dat de lithografie- en fotoresistverwerking op de juiste manier verloopt, batch na batch.
Wat we hebben gedaan
We hebben de coating zo aangepast dat deze goed reageert op infraroodstraling en dat de temperatuur over de hele schijf constant blijft, bij een verschil van ±0,1°C tijdens het proces. De coating is geschikt voor gebruik in zuiveringsruimtes van klasse 1 tot en met klasse 100. Er wordt nauwelijks stof gegenereerd, zodat de kwaliteit van het product niet wordt beïnvloed. De coating kan herhaaldelijke thermische cycli doorstaan zonder te barsten of gas uit te stoten. Hierdoor blijft de reproduceerbaarheid behouden, zelfs na duizenden batches. De platform is ontworpen om 24/7 te werken, zonder onverwachte storingen. De levensduur is zelfs langer dan die van typische thermische componenten.
De voordelen van deze coating
Een constante temperatuur zorgt voor een constante lijndikte, minder herwerkingen en stabiele productkwaliteit. Hierdoor kan de productie efficiënter worden uitgevoerd, waardoor er minder afval ontstaat. De energieverbruik neemt af, omdat het systeem snel het gewenste temperatuurniveau bereikt en dit niveau handhaaft. Er zijn minder vervangingen nodig, wat betekent dat er minder onderhoud nodig is in de zuiveringsruimte. Ook zijn er minder aligneringscontroles nodig, waardoor de productie meer tijd kan draaien.
Enkele praktische tips
De installatie moet overeenkomen met de geometrie en emissieprofiel van de IR-bron. Andere configuraties kunnen de uniformiteit verstoren. De coating werkt goed in een inert milieu en in normale zuivere lucht. Echter, blootstelling aan bepaalde oplosmiddelen kan de levensduur verkorten. Plan de interfaces en de reinigingsmethode van tevoren, zodat je de gewenste thermische reproduceerbaarheid kunt bereiken.