파편 발생을 막아보세요: 쿼츠 튜브가 파손되는 것을 방지하기 위하여
고부하의 반도체 생산 환경에서는 적외선 램프가 폭발하는 것은 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단만의 문제가 아니라, 그로 인해 발생하는 혼란도 심각합니다.
쿼츠 튜브가 파손되면 유리 조각들과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 한 번만 파손되어도 전체 제품이 버려지게 됩니다. 바로 이런 이유 때문에 우리는 적외선 히터에서 발생할 수 있는 “2차 오염”을 막기 위해 최선을 다합니다.
와이어링의 비밀
대부분의 사람들은 와이어링을 간과하지만, 사실 상용 와이어들은 램프 끝부분에서 발생하는 고온을 견딜 수 없습니다. 와이어들은 녹거나 가스가 나오게 됩니다.
우리는 고온에도 견딜 수 있는 테플론 코팅된 와이어를 사용합니다. 만약 절연 처리가 제대로 되지 않으면 아크가 발생하여 쿼츠 표면에 작은 열점이 생깁니다. 고부하 상황에서 이러한 열점들은 스트레스 포인트가 되어 튜브가 파손됩니다.
간단히 말해, 테플론은 연결 부위를 깨끗하게 유지하고 열이 제자리에 머물도록 해줍니다.
“만약에”에 대비하기
많은 튜브들이 텅스텐 필라멘트와 쿼츠 튜브의 밀폐성이 제대로 되지 않아서 파손됩니다. 둘의 팽창 속도가 다르거나, 밀폐부가 더러워져서 균열이 생기는 것입니다.
우리는 정밀하게 설계된 엔드 캡을 사용하여 이 문제를 해결했습니다. 이를 통해 쿼츠 튜브가 팽창할 수 있으면서도 밀폐부에 압력이 가해지지 않습니다.
하지만 우리는 최악의 상황도 고려합니다. 특정한 환경에서는 안전 메시나 보호 커버를 추가합니다. 이는 일종의 보험과 같습니다. 만약 튜브가 파손되더라도, 보호 커버가 파편들을 막아줍니다. 그렇게 하면 웨이퍼가 깨끗하게 유지되고, 기계 내부의 유리 조각들을 청소하는 데 시간을 낭비할 필요가 없습니다.
타협점
우리 모두는 높은 열밀도를 원합니다. 하지만 램프의 출력을 최대치로 올리면 할로겐 가스의 내부 압력이 상승합니다.
이때가 바로 냉각 팬이 필요한 순간입니다. 공기 흐름이 약하면 램프의 끝부분이 과열됩니다. 그러면 세상에서 가장 좋은 테플론 와이어라도 손상될 것입니다.
공기 흐름을 일정하게 유지하면 램프의 수명이 길어지고, 클린룸도 깨끗하게 유지됩니다.