청결한 환경을 유지하기 위한 방법: 가열에 관한 진실
만약 Class 100 등급의 청정실을 운영하고 있다면, 오염이 가져오는 재앙적인 결과를 이미 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 양의 가스나 가열 요소에서 떨어져 나온 미세한 입자들만으로도 전체 생산품이 망가질 수 있습니다.
문제는 대부분의 일반적인 가열등들이 이러한 상황을 견딜 수 없다는 점입니다. 이러한 등들은 저렴한 접착제나 코팅재, 그리고 낮은 품질의 유리를 사용하기 때문에 고온을 견디지 못합니다. 고온이 되면 이들은 파괴되면서 미세한 입자들을 생산 라인 위로 내보내게 됩니다. 이는 재앙을 예고하는 것과 같습니다.
왜 고순도 석영을 사용하는가?
우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 IR등에 고순도 융합 규소를 사용합니다.
보로실리케이트 유리는 온도 변화에 민감하지만, 융합 규소는 그런 온도 변화에 크게 영향을 받지 않습니다. 따라서 고온이 되어도 균열이 생기거나 미세한 입자들이 나오지 않습니다. 게다가 금속성 불순물도 제거되므로 반도체 웨이퍼와 광학 부품들이 깨끗하게 유지됩니다.
배출을 최소화하기 위한 설계
우리는 열 밀도를 유지하면서도 크기를 줄이고 싶었습니다. 그래서 밀폐성을 확보하는 데 많은 노력을 기울였습니다.
대부분의 사람들은 유기계 실란트를 사용하지만, 우리는 그렇지 않습니다. 대신 고온용 용접 방식을 사용합니다. 왜냐하면 유기계 실란트는 작동 온도에 도달하는 순간 휘발성 유기 화합물(VOCs)을 방출하기 때문입니다. 용접을 통해 누출이 없도록 합니다.
또한 이러한 등들은 집중된 단파 스펙트럼을 방출하여 매우 빠르게 가열됩니다. 이는 HVAC 시스템에 있어서는 큰 장점입니다. 왜냐하면 열 부하를 줄이기 위해 HVAC 시스템이 덜 작동해도 되기 때문입니다.
주의해야 할 사항들
단, 이러한 등들은 전원 공급을 무시할 수 있는 “플러그 앤 플레이” 형태가 아닙니다. 고순도 석영은 매우 민감하기 때문에, 전압이 변동하면 필라멘트에 “열점”이 생겨 등이 예상보다 빨리 고장날 수 있습니다. 따라서 안정적인 작동을 위해 정밀한 PID 컨트롤러를 사용하는 것이 좋습니다.
그리고 제발, 손으로 직접 만지지 마세요! 피부에서 나오는 기름이 유리에 작은 스트레스점을 만들어냅니다. 등이 가열되면 그 부분들이 고장의 원인이 됩니다. 반드시 더스트프리 장갑을 사용하세요. 그렇지 않으면 등이 실제로 고장나기 전에 미리 교체해야 할 것입니다.