왜 탄소섬유 IR이 반도체 산업에서 성공을 거두고 있는가?
반도체 산업은 친환경적인 방식으로 생산해야 한다는 압력을 받고 있습니다. 납이 포함되지 않은 재료의 사용과 배출 없는 건조 공정에 대한 요구 때문에, 기존의 방식들은 더 이상 효과적이지 않습니다.
그래서 우리는 더 이상 그런 구식의 대류 오븐이나 할로겐 램프를 사용하지 않고 있습니다. 탄소섬유 IR 램프는 폐기물이 전혀 발생하지 않으면서도 원하는 작업을 수행할 수 있기 때문에 인기를 얻고 있습니다.
실제 작동 원리
이러한 광원들은 마치 석영관 안에 들어 있는 고저항성 탄소 필라멘트와 같습니다. 단순히 열을 방출하는 것이 아니라, 중파부터 장파에 이르는 다양한 파장의 IR을 방출합니다.
이게 왜 중요한가 하면, 열이 표면만 태우는 것이 아니라 포토레지스트나 접착제 속으로도 스며들기 때문입니다. 그 결과 웨이퍼 전체에 균일한 열이 분포됩니다. 더 이상 짧은 파장의 램프로 인해 발생하는 웨이퍼의 변형 문제도 걱정할 필요가 없습니다.
에너지 절약 및 문제 해결
납이 없는 솔더를 사용할 경우, 그 특성상 매우 섬세한 온도 조절이 필요합니다. 그렇지 않으면 산화가 일어날 수 있습니다.
탄소섬유 램프는 몇 초 만에 목표 온도에 도달합니다. 정말 빠릅니다. 그 덕분에 복잡한 예열 과정을 생략할 수 있습니다. 게다가 방 안의 공기를 데우는 데 에너지를 낭비할 필요도 없습니다. 오직 제품만을 가열하기 때문입니다. 연소 부산물도 없고, 오존 냄새도 나지 않습니다. 이는 오염을 유발하는 구식 장비들에 비해 훨씬 깨끗한 대안입니다.
당연한 희생
모든 것이 완벽할 수는 없습니다.
탄소섬유 램프는 발광 면적이 크기 때문에 “핫스팟”을 제거하는 데 효과적입니다. 하지만 짧은 파장의 석영 램프만큼 빠르게 온도를 올리지는 못합니다.
만약 공정상 급속한 경화가 필요하다면, 이 방식은 다소 느릴 수 있습니다. 그렇다면 탄소 필라멘트가 열을 방출하는 속도에 맞춰 컨베이어의 속도를 조절해야 합니다.
우리는 청정실용으로 특별히 이러한 램프를 제작했습니다. 석영은 화학적으로 안정적이므로, 웨이퍼가 오염될 걱정도 없습니다. PID 컨트롤러와 함께 사용하면 온도를 정확하게 조절할 수 있습니다.