バイオセンサーの製造における赤外線ランプ

ファブラインでは、バイオセンサーワーフを扱う際には、熱制御を厳格に行う必要があります。なぜなら、フォトレジストはわずかな温度変動も許容しないからです。重要な寸法がどんどん小さくなるにつれて、数度の誤差でも、ソフトベイクやハードベイクの条件が狂ってしまい、製品の品質が低下し、廃棄処分となってしまいま...