Mantenere tutto al sicuro durante il processo di essiccazione delle wafer MEMS
Se siamo onesti: posizionare una lampada a infrarossi ad alta intensità accanto a solventi infiammabili è davvero un modo per causare disastri. Se si vuole essiccare le wafer dei sensori MEMS dopo una pulizia chimica, è necessario utilizzare calore… molto calore. Ma sicuramente non si vuole che si verifichi un incendio nella sala di pulizia.
Ecco perché non ci limitiamo semplicemente a costruire lampade normali. Le realizziamo con un tipo specifico di struttura protettiva, in modo da tenere lontani quei vapori volatili dalle parti elettriche della lampada.
Gestire i fumi
Quando ci si trova in una sala di pulizia chimica, l’aria è densa di vapori di solventi, che possono facilmente causare scintille o surriscaldamenti. Una lampada normale non potrebbe resistere a queste condizioni.
Noi utilizziamo invece una struttura in quarzo speciale, dotata di sigilli in vetro-metallo. Si tratta di una sorta di “muro fisico” che impedisce ai solventi di raggiungere le parti interne della lampada. E la cosa migliore è che, se quel sigillo dovesse rompersi, la lampada si spegnerà semplicemente. È meglio avere una lampada spenta piuttosto che rischiare un incendio nella sala di pulizia. È l’unico modo per poter dormire sonni tranquilli.
Gestire il calore
Utilizziamo emettitori a onde corte. Perché? Perché vogliamo che il calore raggiunga direttamente la superficie della wafer. Non vogliamo certo trasformare l’intera struttura della macchina in un forno.
Tuttavia, bisogna ricordare che questo tipo di energia è estremamente intensa. Questo significa che i ventilatori di raffreddamento sono fondamentali. Se il flusso d’aria viene bloccato, la struttura della lampada subisce stress e i tubi possono rompersi molto prima del previsto. Controllate sempre i ventilatori.
Dettagli riguardanti l’installazione
Le piattaforme industriali per l’essiccazione vibrano molto. Per questo motivo, utilizziamo connettori resistenti. Non si tratta di connettori fragili come quelli presenti nei tostapane: si tratta di connettori robusti. Una volta collegati, basta dimenticarsene.
Quando arriva il momento di sostituire una lampada, assicuratevi di controllare il sigillo della struttura in cui è inserita. Se c’è una crepa, i solventi potranno infiltrarsi e danneggiare gradualmente l’isolamento dei cavi. È un pericolo silenzioso per i vostri equipaggiamenti.
Consiglio di controllare regolarmente il sigillo ogni 500 ore di funzionamento. Ci vogliono solo pochi minuti, ma vi eviteranno problemi inaspettati.