Nel reparto di litografia, si impara rapidamente che una variazione di temperatura di 1°C durante la fase di essiccazione del fotorest non comporta semplicemente un “spostamento” nel processo di produzione: essa infatti provoca delle variazioni nelle dimensioni dei caratteri stampati, il che può rendere tutto il prodotto inutile. Inoltre, se l’essiccazione dei wafer lascia ancora una sottile pellicola dovuta alla tensione superficiale, si creano delle particelle che ostacolano il processo di produzione. Il controllo termico non è quindi una funzione secondaria: è essenziale per il corretto funzionamento del processo.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
I nostri riscaldatori a infrarossi a corta lunghezza d’onda garantiscono un’omogeneità della temperatura sul wafer entro ±0,1°C su tutta la superficie, con una ripetibilità della temperatura entro ±0,2°C. La rapida risposta termica riduce i tempi di ciclo, mentre il controllo a circuito chiuso mantiene la temperatura stabile anche quando la porta si apre e si chiude. Il design senza componenti in quarzo assicura che non ci siano particelle presenti sulla superficie del wafer, permettendo così di mantenere le condizioni richieste dalle norme di classe 1–100 delle stanze pulite. Si ottiene quindi affidabilità 24/7, senza interruzioni impreviste; inoltre, il tempo medio tra guasti supera le 10.000 ore.
Perché funziona nella fabbrica
Durante l’essiccazione dei wafer, i raggi infrarossi penetrano nelle microstrutture presenti sul wafer e eliminano i solventi senza formare alcuna pellicola superficiale. Questo permette un’essiccazione senza contatto, riducendo così l’aderenza delle particelle. Per quanto riguarda la fase di pre-essiccazione e di essiccazione definitiva del fotorest, tale omogeneità e ripetibilità permettono un controllo più preciso delle dimensioni critiche del prodotto, riducendo la presenza di difetti. Inoltre, il consumo energetico diminuisce, grazie alla rapida risposta termica, il che riduce i costi operativi per ogni lotto prodotto.
Cosa bisogna considerare nella pianificazione
L’installazione avviene in modo semplice su binari standard, ma è necessario assicurarsi che i riflettori e gli emettitori siano allineati correttamente. È inoltre necessario effettuare una calibrazione precisa prima dell’uso dei riscaldatori. Dopo la calibrazione, le variazioni di temperatura rimangono minime; bisogna quindi includere nel budget i costi legati all’allineamento iniziale.