
Mengapa kita mengganti penggunaan udara panas dengan lampu IR di ruang bersih?
Jika Anda masih menggunakan udara panas untuk proses pemanasan bahan dalam proses pembuatan semikonduktor, kemungkinan besar Anda sedang membuang-buang waktu yang berharga. Saya sering melihat hal ini di berbagai pabrik. Itu merupakan cara yang selama ini digunakan, tetapi ketika kita perlu memanfaatkan setiap detik secara efisien, cara lama tersebut justru menjadi penghambat.
Masalahnya adalah udara panas memiliki kecepatan pemanasan yang lambat. Proses pemanasan dilakukan melalui konveksi, yaitu dengan memanaskan udara terlebih dahulu, lalu udara tersebut yang memanaskan bahan yang akan diproses. Hal ini menyebabkan penundaan waktu yang tidak diinginkan.
Lampu IR menghilangkan kebutuhan akan proses konveksi tersebut. Lampu IR mengirimkan radiasi elektromagnetik langsung ke permukaan bahan yang akan diproses. Perbedaan waktu pemanasan antara lampu IR dan oven udara panas sangat signifikan. Dengan lampu IR, suhu target dapat dicapai dalam beberapa detik saja. Sedangkan dengan oven udara panas, diperlukan waktu menit-menit agar suhu stabil. Dalam proses produksi skala besar, waktu menit-menit tersebut merupakan pemborosan yang besar.
Selain itu, lampu IR mampu menghasilkan panas yang cukup tinggi dalam area yang sempit. Anda dapat menargetkan zona tertentu pada wafer tanpa harus membuat seluruh ruang bersih menjadi seperti “sauna”. Hal ini membantu menjaga suhu lingkungan tetap stabil, sehingga memudahkan pekerjaan semua orang.
Namun, lampu IR bukanlah solusi yang sempurna. Radiasi dari lampu IR hanya dapat mencapai area yang terlihat langsung dari lampu tersebut. Jika bahan yang akan diproses memiliki bentuk yang tidak biasa atau memiliki bagian-bagian yang sulit dijangkau, maka akan ada daerah-daerah yang tidak mendapatkan panas yang cukup. Anda tidak bisa “mengarahkan” radiasi ke sudut-sudut tertentu seperti yang dilakukan oleh kipas angin. Anda perlu memastikan posisi lampu tepat agar semua bagian bahan mendapatkan panas yang merata.
Keuntungan utama dari penggunaan lampu IR adalah penghematan ruang. Anda tidak perlu menggunakan saluran udara yang besar atau kipas angin yang berisik. Lampu IR dapat dipasang langsung di setup yang sudah ada. Waktu proses pun berkurang, dan biaya energi juga berkurang karena tidak ada lagi pemborosan energi untuk memanaskan udara di ruangan. Hanya satu hal yang perlu diperhatikan: pastikan sensor yang digunakan untuk mengukur suhu diset agar dapat mengukur panas radiatif, bukan suhu udara sekitar. Jika tidak, suhu target akan melebihi batas yang ditentukan, sehingga bahan yang diproses bisa rusak. Dan tentu saja, itu bukan hal yang diinginkan siapa pun.