लिथोग्राफी प्रक्रिया में, जल्द ही यह समझ में आ जाता है कि फोटोरेजिस्ट को नरम करने की प्रक्रिया के दौरान 1°C का अंतर भी प्रक्रिया को बिगाड़ सकता है; ऐसे में प्रिंटिंग प्रक्रिया में त्रुटियाँ आ सकती हैं, जिससे पूरी प्रक्रिया व्यर्थ हो जाती है। यदि वेफर को सूखाने के दौरान सतह पर थोड़ी भी सतही तनाव रह जाए, तो कण वहीं जम जाते हैं, जिससे उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। ऊष्मा नियंत्रण कोई सामान्य प्रक्रिया नहीं है… यह तो मुख्य प्रक्रिया ही है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमारे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हीटर, वेफर पर ±0.1°C की सटीकता के साथ ऊष्मा प्रदान करते हैं; सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति ±0.2°C के भीतर होती है। तेज़ ऊष्मा प्रदान करने से प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं क्लोज्ड-लूप नियंत्रण के कारण दरवाजे खोलने/बंद करने के बावजूद तापमान स्थिर रहता है। क्वार्ट्ज-रहित डिज़ाइन के कारण कणों का जमाव नहीं होता, इसलिए वेफर क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप ही रहता है। इसके कारण 24/7 निरंतर कार्य किया जा सकता है, एवं MTBF मान 10,000 घंटों से भी अधिक है।
फैक्ट्री में यह क्यों कारगर है?
वेफर को सूखाने के दौरान, इन्फ्रारेड तरंगें वेफर की सतह में मौजूद घटकों में घुस जाती हैं, जिससे वहाँ मौजूद विलायक निकल जाते हैं… ऐसे में कोई संपर्क ही नहीं होता, जिससे कणों का जमाव नहीं होता। फोटोरेजिस्ट को पहले एवं बाद में सूखाने की प्रक्रिया में भी यही व्यवस्था कारगर है… ऐसे में सटीक नियंत्रण संभव होता है, दोषों की संख्या कम हो जाती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि तेज़ ऊष्मा प्रदान करने से अनावश्यक समय की बचत होती है, जिससे प्रति बैच की लागत कम हो जाती है।
क्या तैयारी करने की आवश्यकता है?
मानक ट्रैकों पर इसकी स्थापना आसान है… लेकिन रिफ्लेक्टरों एवं एमिटरों की सही स्थिति की जाँच शुरुआत में ही की जानी आवश्यक है। हीटरों को बदलने के दौरान भी उनका कैलिब्रेशन आवश्यक है। प्रक्रिया को सही ढंग से कार्य करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… कैलिब्रेशन के बाद तापमान में बहुत कम अंतर ही रहता है… इसलिए शुरुआती कैलिब्रेशन के लिए उचित बजट आवश्यक है।