अपने उपकरणों को गर्म करना बंद करें… बल्कि वेफरों को ही गर्म करें।
अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व बहुत ही अस्त-व्यस्त होते हैं… वे ऊर्जा को हर दिशा में फैला देते हैं… 360 डिग्री में ऊर्जा फैल जाती है। सेमीकंडक्टर निर्माण केंद्रों में यह एक बड़ी समस्या है।
जब ऊर्जा किसी एक दिशा में नहीं जाती, तो महंगे उपकरणों की आंतरिक दीवारें उस अतिरिक्त ऊर्जा को अपने अंदर सोख लेती हैं… इससे उपकरणों की दीवारें बहुत गर्म हो जाती हैं। यह न केवल मशीनों को चलाने वाले लोगों के लिए समस्याजनक है, बल्कि उपकरणों की थर्मल स्थिरता भी बिगड़ जाती है।
हम इस समस्या का समाधान कैसे करते हैं?
हम दिशात्मक इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं… हम साधारण क्वार्ट्ज ट्यूबों के बजाय कोटेड एमिटरों एवं विशेष परावर्तकों का उपयोग करते हैं।
इसे ऐसे ही समझें… जैसे कि आप बल्ब के बजाय टॉर्च का उपयोग कर रहे हैं… हम इन्फ्रारेड विकिरण को सीधे वेफर/सब्सट्रेट तक ही भेजते हैं।
चूँकि विकिरण सीमित होता है, इसलिए ऊर्जा मशीन की दीवारों पर नहीं पड़ती… ऊर्जा सीधे वेफर/सब्सट्रेट में ही जाती है। जब प्रक्रिया चल रही होती है, तो उपकरणों की दीवारें ठंडी ही रहती हैं… यह वाकई बहुत अच्छा है।
इसे अपने उपकरणों में कैसे लागू करें?
हमने ऐसे लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि उन्हें बिना किसी परिवर्तन के ही उपकरणों में लगाया जा सके… आपको अपने क्लीन रूमों को तोड़ने या थर्मल शील्डों को फिर से बनाने की आवश्यकता ही नहीं है।
लेकिन ध्यान रखें… जब इन्फ्रारेड ऊर्जा को इस तरह फोकस किया जाता है, तो लक्ष्य बिंदु पर ऊर्जा की तीव्रता बढ़ जाती है… आपको अपने PID कंट्रोलरों की जाँच अवश्य करनी होगी… यदि आपके सेंसर इस अतिरिक्त ऊर्जा को संभालने में सक्षम न हों, तो वेफर नष्ट हो सकता है… यह एक सरल समस्या है, लेकिन बहुत ही महत्वपूर्ण है।
इससे वास्तव में क्या बदलता है?
जब आप दिशात्मक हीटिंग का उपयोग करते हैं, तो आपको उन बड़े-बड़े एक्सटर्नल कूलिंग फैनों एवं लिक्विड-कूल्ड जैकेटों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती… उपकरणों के लिए जगह कम हो जाती है… वातावरण स्थिर रहता है… और सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि तकनीशियन आसानी से उपकरणों के आसपास घूम सकते हैं… बिना किसी चिंता के… ऐसे में पूरा कार्यस्थल अधिक सुरक्षित एवं नियंत्रित रहता है।