Dans le domaine de la lithographie, on apprend rapidement que même une déviation de 1°C pendant le séchage du photorésistant peut avoir des conséquences graves : cela provoque des écarts dans l’épaisseur des lignes imprimées, ce qui peut entraîner l’échec de toute la production. De plus, si une fine couche de tension superficielle reste sur la wafer, cela favorise l’accumulation de particules, ce qui réduit considérablement le taux de réussite de la production. Le contrôle thermique n’est donc pas une fonction secondaire ; c’est au contraire un élément essentiel du processus.
Ce qui est important sur le plan technique
Nos chauffeurs à infrarouge à ondes courtes permettent de maintenir une uniformité de température de ±0,1°C sur toute la surface de la wafer, avec une répétabilité de ±0,2°C. La vitesse de chauffe permet de réduire le temps de traitement, tandis que le contrôle en boucle fermée assure une stabilité de température, même lorsque la porte s’ouvre et se ferme. La conception sans quartz des émetteurs évite toute accumulation de particules, ce qui permet de respecter les normes des salles propres de classe 1 à 100. On obtient ainsi une fiabilité 24/7, sans arrêts non planifiés, grâce à une durée de vie moyenne supérieure à 10 000 heures.
Pourquoi ça marche en usine
Lors du séchage de la wafer, les ondes infrarouges pénètrent dans les micro-structures de la wafer et permettent d’éliminer les solvants sans former de couche superficielle. Ainsi, on obtient un séchage sans contact, ce qui réduit l’adhésion des particules. Pour le pré-séchage et le séchage complet du photorésistant, cette uniformité et cette répétabilité permettent un meilleur contrôle des dimensions critiques, moins de défauts, et une réduction de la consommation d’énergie. En effet, une réponse thermique rapide signifie moins de temps d’inactivité, ce qui diminue les coûts de production par lot.
Ce qu’il faut prévoir
L’installation est simple sur des rails standards, mais les optiques doivent être bien alignées. Il est nécessaire de vérifier l’alignement des réflecteurs et des émetteurs lors de la première configuration. De plus, il faudra effectuer des calibrations entre différents équipements lorsqu’on change de chauffeur. On peut s’attendre à un court laps de temps nécessaire pour que le système atteigne sa stabilité. Une fois calibré, les déviations sont minimales. Il suffit donc de prendre en compte les coûts liés à l’alignement initial dans le cadre de l’intégration du système.