در فرآیند لیتوگرافی، به سرعت متوجه میشوید که تغییر دما در حد ۱ درجه سانتیگراد در طول فرآیند پختن رزیست، نه تنها باعث تغییراتی در فرآیند میشود، بلکه باعث ایجاد نوساناتی در عرض خطوط چاپی میگردد؛ این امر میتواند منجر به از بین رفتن کل محصول تولید شده شود. همچنین، اگر در فرآیند خشک کردن ویفر، حتی لایه نازکی از تنش سطحی باقی بماند، ذرات مختلف در آن جمع میشوند و این امر باعث کاهش بازدهی تولید میگردد. کنترل حرارتی، یک عملکرد فرعی نیست؛ بلکه خود بخشی از فرآیند تولید است.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: گرمکنهای مادون قرمز کوتاهامواج ما، یکنواختی دما روی سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنند؛ همچنین، قابلیت تکرار این دما نیز در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد است. سرعت بالای این گرمکنها، زمان فرآیند را کاهش میدهد؛ همچنین، سیستم کنترل بسته، دما را حتی در هنگام باز و بسته شدن درها، ثابت نگه میدارد. طراحی این گرمکنها بدون استفاده از کوارتز، باعث میشود که هیچ ذرهای در سطح ویفر جمع نشود؛ بنابراین، ویفر در شرایط استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ خواهد بود. این گرمکنها امکان عملکرد پایدار ۲۴ ساعته را فراهم میکنند؛ همچنین، میانگین زمان عملکرد آنها بیش از ۱۰٬۰۰۰ ساعت است.
چرا این روش در کارخانههای تولید کاربرد دارد: در فرآیند خشک کردن ویفر، امواج مادون قرمز به داخل ساختارهای ریز ویفر نفوذ کرده و حلالها را بدون ایجاد لایهای روی سطح، از بین میبرند؛ بنابراین، خشک کردن بدون تماس صورت میگیرد و این امر باعث کاهش چسبندگی ذرات به سطح ویفر میشود. در فرآیندهای پیشپخت و پخت نهایی رزیست نیز، این یکنواختی و قابلیت تکرار، منجر به کنترل بهتر ابعاد کلیدی، کاهش لکهها و کاهش تعداد نقصها میشود. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا پاسخ سریع گرمکنها، باعث کاهش زمان استراحت آنها میشود و در نتیجه هزینههای عملیاتی کاهش مییابد.
آنچه باید در نظر بگیرید: نصب این گرمکنها در ریلهای استاندارد، کار سادهای است؛ اما لازم است که تنظیمات آنها در ابتدا بررسی شود. همچنین، هنگام تعویض گرمکنها، نیاز به تنظیم مجدد آنها وجود دارد. پیشبینی میشود که برای تأیید کارکرد صحیح این گرمکنها، نیاز به زمان کوتاهی برای استabilization وجود داشته باشد. پس از تنظیم، تغییرات دما به حداقل میرسد؛ بنابراین، لازم است که هزینههای مربوط به تنظیمات اولیه را نیز در بودجه در نظر بگیرید.