En el proceso de litografía, una variación de 0,3°C durante el secado de las obleas o durante el proceso de curado del fotorevestimiento puede causar cambios en las dimensiones críticas de la oblea, en cantidades de nanómetros. Esa variación se traduce en una pérdida de rendimiento en la producción. Por eso, hemos diseñado calefactores infrarrojos para el secado de las obleas, con el fin de eliminar esa variabilidad. De esta manera, se logra un control térmico preciso en los procesos sensibles, y el tiempo de operación no depende de los ciclos del horno.
Lo que es importante desde el punto de vista técnico
Utilizamos emisores infrarrojos de onda corta, con respuesta rápida y control espectral preciso. Esto permite que la energía se transfiera de manera eficiente a la oblea y al fotorevestimiento, sin excesos de calor. La uniformidad de temperatura en toda la superficie de la oblea se mantiene dentro de un rango de ±0,1°C, y la repetibilidad entre diferentes lotes también es alta. Los elementos de calefacción son compatibles con entornos limpios: materiales con baja emisión de gases, conexiones herméticas y superficies que minimizan la generación de partículas. Los módulos de calefacción se integran fácilmente en las plataformas de proceso estándar, con conexiones eléctricas simples. Además, mantienen una salida estable durante miles de horas; más de 5,000 horas, con una disminución en la salida inferior al 5%.
Por qué funciona en la práctica
En cuanto al secado, los infrarrojos permiten una deshidratación uniforme y rápida. Esto evita la formación de marcas por agua y micropuentes antes de la litografía. En el caso del procesamiento del fotorevestimiento, el mismo sistema permite un curado preciso, lo que mejora la uniformidad del ancho de las líneas y reduce la formación de burbujas en la superficie de la oblea. Los pasos de curado posterior siguen perfiles de temperatura consistentes, lo que garantiza una adhesión adecuada y la integridad de la película, sin necesidad de rework.
El consumo de energía disminuye, ya que el calentador solo funciona cuando se lleva a cabo el proceso. La baja inercia térmica reduce las pérdidas en estado de inactividad. Menos ciclos de curado significan menos obleas defectuosas y tiempos de ciclo más predecibles.
Lo que necesita saber
La instalación consiste en realizar un alineamiento óptico adecuado. Si esto no se hace correctamente, se podrán producir puntos calientes localizados en la oblea. Algunos polímeros y capas antireflejantes absorben intensamente la luz infrarroja cercana. Por eso, en el primer ensayo de calibración es necesario medir la temperatura en la superficie de la oblea con un sensor calibrado, para confirmar la precisión del valor establecido. Una vez que se haya definido el perfil de temperatura, solo será necesario realizar ajustes periódicos, pero no a diario.