Deje de calentar su equipo (y comience a calentar sus obleas).
La mayoría de los elementos calefactores convencionales son bastante problemáticos. Ellos distribuyen la energía en todas direcciones: 360 grados de calor que se dispersan por todas partes. En una fábrica de semiconductores, eso es un verdadero problema.
Cuando el calor no se dirige hacia una sola dirección, las paredes internas del equipo absorben toda esa energía desperdiciada. Como resultado, las paredes se vuelven muy calientes. Esto no solo representa un problema para quienes operan las máquinas, sino que también altera completamente la estabilidad térmica del equipo.
Así es como lo resolvemos.
Utilizamos lámparas infrarrojas direccionalmente dirigidas. En lugar de usar simples tubos de cuarzo, empleamos emisores recubiertos y reflectores especializados.
Imagínelo como pasar de una bombilla normal a una linterna. De esta manera, hacemos que la radiación infrarroja vaya exactamente donde debe ir: directamente hacia la oblea o sustrato.
Dado que el haz es concentrado, la energía no llega al chasis de la máquina. El calor se concentra en el material a procesar, y no en las paredes de la máquina. Es genial poder tocar las paredes del equipo mientras este funciona a su temperatura máxima, sin que estas estén calientes.
Cómo integrarlo en su sistema.
Hemos diseñado estas lámparas para que puedan reemplazar fácilmente a los elementos calefectores tradicionales. No es necesario desmontar su sala limpia ni reconstruir los sistemas de refrigeración desde cero. Simplemente funcionan.
Pero hay algo importante que deber tener en cuenta: al dirigir la energía infrarroja de esta manera, la intensidad en el punto objetivo aumenta considerablemente. Será necesario verificar bien los controladores PID. Si los sensores no están ajustados adecuadamente, es posible que la temperatura supere los límites permitidos y dañe las obleas. Es una solución sencilla, pero crucial.
Qué cambia realmente en el lugar de trabajo.
Al utilizar calefacción direccional, puede prescindir de esos ventiladores de refrigeración voluminosos y de esos sistemas de refrigeración por líquido tan molestos. El equipo ocupa menos espacio. El entorno se mantiene estable. Y, lo más importante, sus técnicos pueden moverse libremente alrededor del equipo, sin preocuparse por quemarse durante los ajustes manuales. Todo esto hace que el lugar de trabajo sea mucho más seguro y controlable.