Verhindern Sie den Zerfall der Quarztuben: Schützen Sie Ihre Quarztuben vor dem Zerbrechen
In einer Hochleistungs-Halbleiteranlage ist ein Defekt der Infrarotlampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – auch wenn diese schon schlimm genug sind – sondern auch um das Chaos, das entsteht. Wenn eine Quarztube zerbricht, fallen Glasscherben sowie Wolframfäden auf die Wafer herab. Ein einziger Defekt bedeutet, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird. Deshalb legen wir großen Wert darauf, diese „sekundäre Verschmutzung“ in unseren Infrarotheizern zu vermeiden.
Das Geheimnis der Verkabelung
Die meisten Menschen übersehen die Verkabelung – doch Standardkabel können die hohen Temperaturen an den Enden der Lampe einfach nicht aushalten. Sie schmelzen oder geben Gase ab. Wir verwenden daher Kabel mit Teflonbeschichtung – diese halten den Druck aus. Wenn die Isolierung versagt, entstehen Spannungen, die dazu führen, dass kleine, heiße Stellen auf dem Quarz entstehen. Unter hoher Belastung werden diese Stellen zu Stresspunkten – und genau dort bricht die Tube. Einfach ausgedrückt: Teflon sorgt dafür, dass die Verbindungen intakt bleiben und die Hitze dort bleibt, wo sie hingehört.
Vorbereitung auf den „Was Wenn“-Fall
Viele Tuben brechen wegen eines fehlerhaften Verschlusses zwischen dem Wolframfaden und der Quarzhülle. Die Materialien dehnen sich unterschiedlich stark aus, oder der Verschluss ist schmutzig – dadurch entstehen Risse. Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir einen präzise passenden Abschluss verwendet haben. Dadurch hat der Quarz Raum zum Ausdehnen, ohne dass Druck auf den Verschluss ausgeübt wird. Doch wir planen auch für den schlimmsten Fall: In bestimmten Anlagen verwenden wir eine Sicherheitsnetzstruktur oder einen Schutzmantel. Das kann man als eine Art Versicherung betrachten. Falls eine Tube versagt, fängt der Schutzmantel die Bruchstücke auf. So bleiben Ihre Wafer sauber – und Sie müssen den ganzen Tag nicht damit verbringen, Glas aus der Maschine zu entfernen.
Der Kompromiss
Wir alle wollen eine hohe Wärmedichte. Doch wenn man diese Lampen bis zur maximalen Leistung betreibt, steigt der innere Druck des Halogengases an. Hier kommen die Kühlventilatoren ins Spiel. Wenn die Luftzirkulation schwach ist, überhitzen die Enden der Lampe. In diesem Fall spielt es keine Rolle, ob man die besten Teflonkabel verwendet – sie werden trotzdem beschädigt. Halten Sie die Luftzirkulation konstant – so halten die Lampen länger und Ihre Reinraumumgebung bleibt sauber.