V prostoru výroby víte, jak rychle se věci mohou vyvést z kontroly. Pokud dojde k odchylce o půl stupně v teplotě zahřívání, profil fotorezistentu již neodpovídá požadavkům. Výroba se tím zastaví. Vytvořili jsme zásuvku pro infrazelené lampy tak, aby bylo možné udržet stabilní tepelné podmínky během celé výroby.
Co je důležité uvnitř Zásuvka spojuje krátkovlnné infrazelené emitory s cestou pro kvartovou halogenovou lampu a s keramickým tělesem s nízkou hladinou uvolňovaných látek. Teplota zahřívání zůstává v rozmezí ±0,1 °C po celé ploše waferu, přičemž opakovatelnost hodnoty teploty je na úrovni ±0,05 °C. Materiály a povrchová úprava odpovídají požadavkům čistých prostor tříd 1–100. Design zásuvky nevytváří žádné částice během provozu. Energie přichází prostřednictvím konektoru určeného k nepřetržitému provozu 24/7. Tepelný profil zůstává konstantní od prvního do posledního waferu.
To je důležité v litografii: krok zahřívání určuje kontrolu kritických rozměrů a množství vad. Díky této zásuvce zůstává teplota na požadované úrovni, takže se minimalizují chyby při exponování a zvyšuje se kvalita fotorezistentu. Dosahujete tak konzistentnějších výsledků, méně oprav a méně odpadu.
Spotřeba energie klesá, protože lampa rychle dosáhne požadované teploty a udržuje ji bez překročení limitů. Když tepelné výkyvy přestanou spouštět alarmy, snižuje se i doba neplánovaného stavu.
Pár praktických poznámek před nasazením: instalace vyžaduje odpovidenost mechanických a elektrických parametrů s daným nástrojem – pečlivě zkontrolujte délku lampy, typ základny a napětí před výměnou. Zásuvka funguje správně pouze tehdy, když je použita s určenou lampou a chladicí systém a reflektory nástroje jsou čisté.
Plánujte preventivní údržbu v době, kdy lampa dosáhne konce své životnosti, abyste zabránili odchylkám. Mějte rezervní lampy v uzavřeném obalu, aby byla zachována čistota v čistých prostorách.