ফ্যাব ফ্লোরে, তাপীয় এক্সকর্শনগুলি তাত্ত্বিক নয়। এগুলি স্ক্র্যাপ ওয়েফার, ফোটোরেজিস্ট প্রোফাইলের ফাটল এবং লাইন জুড়ে ছড়িয়ে পড়া যেটি ফলন হিট হিসাবে উপস্থিত হয়। যখন আপনার Mattson RTP টুলের বাতি পুরনো হয়, তাপমাত্রার অভিন্নতা বিচলিত হয়, এবং আপনার প্রক্রিয়ার উইন্ডো সংকুচিত হয়। আমরা এই বিচলনকে মূল উৎসে থামানোর জন্য একটি প্রতিস্থাপন বাতি ব্যবস্থা তৈরি করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে গুরুত্বপূর্ণ কি
বাতিটি একটি উচ্চ বিশুদ্ধ কুয়ার্টজ আবরণে ছোট-তরঙ্গ হ্যালোজেন উপাদান ব্যবহার করে, যা আপনাকে তাপীয় বাজেট নষ্ট না করে দ্রুত র্যাম্প রেট প্রদান করে। প্রক্রিয়া অঞ্চলের মধ্যে, ওয়েফার-স্তরের অভিন্নতা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, এবং সাইকেল-টু-সাইকেল পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা 0.2°C এ ধরে রাখে। এটি 250°C থেকে 650°C পর্যন্ত স্থিতিশীলভাবে চলে, সাব-সেকেন্ডের প্রতিক্রিয়া নিয়ে—স্পাইক অ্যানিল এবং ফোটোরেজিস্ট বেক স্টেপগুলির জন্য সুবিধাজনক। সমাবেশটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুম অপারেশনের জন্য রেট করা হয়েছে, শূন্য কণা উৎপাদন এবং Mattson টুলিংয়ের সাথে মেলে এমন একটি সংযোগকারী ইন্টারফেস রয়েছে।
লিথোগ্রাফিতে কেন এটি কাজ করে
লিথোগ্রাফিতে, সফট বেক এবং হার্ড বেক সঠিক তাপ নিয়ন্ত্রণের দাবি করে। একটি ছোট ওভারশুটও CD এবং সাইডওয়াল কোণ পরিবর্তন করে। এই বাতির সাহায্যে, বেক প্রোফাইল লক্ষ্যবস্তুতে থাকে, লাইনওয়idth পরিবর্তন কমে যায় এবং ওভারলে মার্জিন উন্নত হয়। আপনি শক্তির ব্যবহারও কমান কারণ বাতিটি ওয়েফারটিকে গরম করে, চেম্বারকে নয়, এবং দীর্ঘ পরিষেবা সময়কাল PM লোডকে হালকা করে। কম পরিকল্পিত থামা, পূর্বানুমানযোগ্য প্রতিস্থাপন সময় এবং একটি স্থিতিশীল প্রক্রিয়ার Cpk।
এটি মনে রাখতে হবে
স্থাপন মানে বাতির অবস্থান, কুল্যান্ট প্রবাহ এবং অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্টকে নির্দিষ্ট Mattson চেম্বারের সাথে মেলানো। আমরা একটি ক্যালিব্রেশন রুটিন এবং একটি তাপম্যাপিং কিট অন্তর্ভুক্ত করি যাতে আপনি মুক্তির পূর্বে অভিন্নতা ডকুমেন্ট করতে পারেন। বাতিটি নাইট্রোজেন এবং ইনার্ট বায়ুমণ্ডলের জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে—অক্সিজেন-সমৃদ্ধ পরিবেশগুলি উপাদানের জীবনকালকে সংক্ষিপ্ত করবে। ইনস্টলেশনের পরে রেসিপি লক করতে এবং আপনার প্রক্রিয়া নোডে কণার কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করতে একটি সংক্ষিপ্ত যোগ্যতা রান পরিকল্পনা করুন।