في خط إنتاج بأبعاد 300 مم، فإن اختلاف درجة الحرارة بمقدار 0.3 درجة مئوية على سطح الرقاقة يؤدي إلى تغيير في الأبعاد الحرجة للرقاقة. كما أن أي توقف غير مخطط له قد يدمر الفائض الحراري المتاح خلال الشهر بأكمله. إن استخدام طبقة تغطية مناسبة للأشعة تحت الحمراء على سطح الرقاقة أمر ضروري للغاية؛ فهي تساعد في الحفاظ على درجة الحرارة ثابتة، مما يسمح بإجراء عمليات الطباعة ومعالجة الرقاقات بشكل دقيق.
ما الذي تم بناؤه حوله؟
لقد قمنا بضبط خصائص الطبقة الواقية لتكون مناسبة للاستجابة للأشعة تحت الحمراء وللحفاظ على درجة حرارة ثابتة، بحيث لا تتجاوز الفروق في درجة الحرارة ±0.1 درجة مئوية على سطح الرقاقة أثناء عمليات التسخين. كما أن هذه الطبقة مناسبة للاستخدام في الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى الفئة 100، وتساعد في الحفاظ على مستوى منخفض من الجسيمات، مما يحافظ على جودة الرقاقات. كما أن هذه الطبقة تتحمل الدورات الحرارية المتكررة دون أن تتشقق أو تطلق غازات، مما يضمن الاستمرارية في الإنتاج على مدار آلاف الدفعات. تم تصميم هذا النظام ليعمل على مدار 7 أيام في الأسبوع و24 ساعة في اليوم، دون أي أعطال غير مخطط لها، كما أن عمره الافتراضي أطول بكثير من الأجزاء الحرارية العادية.
الفوائد في عمليات معالجة الرقاقات:
الحفاظ على درجة حرارة ثابتة يعني الحفاظ على عرض الخطوط ثابتًا، وبالتالي تقليل عدد عمليات إعادة المعالجة، بالإضافة إلى الحفاظ على استقرار العيوب في الرقاقات. كما أن ذلك يساعد في تقليل استهلاك الطاقة، لأن النظام يصل إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة ويحافظ عليها دون أي تقلبات. كما أن قلة عدد عمليات الاستبدال تعني قلة الصيانة في الغرف النظيفة، بالإضافة إلى تقليل عدد عمليات المعايرة، مما يزيد من وقت التشغيل.
بعض الملاحظات العملية:
يجب أن يتناسب تركيب الطبقة الواقية مع شكل مصدر الأشعة تحت الحمراء وخصائص الإشعاع الصادر منه؛ فأي اختلاف في هذه الخصائص قد يؤدي إلى عدم توزيع متساوٍ للحرارة على سطح الرقاقة. كما أن هذه الطبقة تعمل في البيئات الخالية من الغازات وفي الهواء النظيف، لكن التعرض لبعض المذيبات في مراحل التنظيف قد يقلل من عمرها الافتراضي. لذا، يجب التخطيط لطريقة التنظيف مسبقًا، حتى يمكن الحصول على الاستقرار الحراري الذي توفره هذه الطبقة.